Модифицирование и легирование поверхности лазерными, ионными и электронными пучками
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо
Если Вы являетесь автором данной книги и её распространение ущемляет Ваши авторские права или если Вы хотите внести изменения в данный документ или опубликовать новую книгу свяжитесь с нами по по .
Страницы: 1 2 3... 305 306 307 308 309 310 311... 423 424 425
|
|
|
|
ный коэффициент диффузии, равный 4-10-^ си^/с, который немного отличается от значения коэффициента диффузии цинка в жидком алюминии 6-10^^ см^с. Предположение о постоянстве величины Dt при росте глубины является удобным приближением для действия импульсного электронного пучка в случае глубокого плавления. Как видно на рис. И.З, время (^0,04-10-6 с), необходимое для прохождения межфазной границей глубины ^0,3 мкм вдоль профиля концентрации цинка, является малой частью общего времени плавления. Упомянутые выше коэффициенты диффузии более чем на два порядка выше максимального коэффициента диффузии цинка в алюминии в твердой фазе, равного 4,7'10'^ см2/с. Следовательно, при субмикросекундном импульсном нагреве происходит значительное движение атомов в основном за время, в течение которого поверхность остается расплавленной. Результаты по твердофазной (при печном отжиге) диффузии цинка в алюминии при 196°С показаны на рис. 11.4, б. Несмотря на то что время, необходимое для достижения тех же значений больше на девять порядков, форма диффузионного профиля хорошо согласуется со случаем диффузии в расплаве. Это означает что другие эффекты во время импульсного плавления электронным пучком, обусловленные, например, температурным градиентом (эффект Соре) не оказывают большого влияния на диффузионные профили. Некоторые доказательства этого для случая более значительных температурных градиентов, возникающих при импульсном лазерном плавлении алюминия, обсуждались в работе [25]. Авторы включают в диффузионное уравнение ненулевой коэффициент Соре St, который учитывает вклад переноса атомов, обусловленный температурным градиентом дТ/дх (см. гл. 2). Профиль цинка после импульсного лазерного плавления приведен на рис. 11.5 для 5т==0 приК^О^^ЗОО А (1) 1[15] и 5г=10-2 К"^ при 0 = 2-10~^ см-ус (2) [25]. Использование положительного значения St приводит к уменьшению концентрации цинка на поверхности и смещению профиля примерно на 100 А по температурному градиенту (10^ К/см), при этом он лучше согласуется с наблюдаемым профилем. Диффузионное уширение имплантационных профилей может быть удобным параметром, используемым для исследования им Рис. 11.5. Экспериментальный (1) и расчетные (2) профили концентрации цинка в алюминии после импульсного лазерного плавления (плотность энергии 3,8 Дж/см') с учетом (2) и без учета {1) коэффициента Соре 0. ,% to 0,5 1 1 1 0 500 WOO 1500 2000 2500 h,k 307
Карта
|
|
|
|
|
|
|
|
Страницы: 1 2 3... 305 306 307 308 309 310 311... 423 424 425
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу |
