Модифицирование и легирование поверхности лазерными, ионными и электронными пучками
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо
Если Вы являетесь автором данной книги и её распространение ущемляет Ваши авторские права или если Вы хотите внести изменения в данный документ или опубликовать новую книгу свяжитесь с нами по по .
Страницы: 1 2 3... 304 305 306 307 308 309 310... 423 424 425
|
|
|
|
жидкой фазы /)ж [22, 23], деленный на расстояние а, проходимое межфазной границей при затвердевании одного атомного слоя, можно получить из отношения скоростей примерное значение числа прыжков jVnp. которые атомы олова могут сделать от межфазной границы и к ней за время образования нового атомного слоя. Это значение в 50 раз больше для кремния по сравнению с алюминием. Для кремния оно во много больше единицы, и в кремнии наблюдается сегрегация. Для алюминия это значение примерно равно единице, что позволяет предположить наличие неравновесного режима и существование заметного межфазного захвата (см. рис. 11.2). Сравнение показывает, что степень метастаОильности, которая может быть достигнута в имплантированных и импульсно отожженных металлах, таких, как алюминий, должна быть также велика (или даже больше), чем в кремнии. 11.3.2, Диффузия Ниже обсудим диффузию имплантированных в алюминий примесей во время импульсного плавления [24]. Мы выбрали в качестве примера цинк, имплантированный в алюминий, поскольку его растворимость в алюминии достигает нескольких процентов. На рис. 11.4, а [24] показан профиль концентрации цинка, определенный методом резерфордовского обратного рассеяния до облучения / и после обработки электронным пучком 2 с длительностью импульса 50 не и плотностью энергии 1,6 Дж/см^; рассчитанный для расплавления алюминия. Наблюдается уширение профиля цинка и профиль 5, рассчитанный в предположении, что коэффициент диффузии не изменяется в зависимости от глубины и на границе отражающей поверхности, хорошо совпадает с наблюдаемым для Dt = 2y^ Х10~^^ см^. Из рассчитанного времени плавления 0,5-10-^ с можно определить эффектив Рис, 11.4. Профили концентрации цинка, имплантированного в алюминий: а — до обработки (/) и после обработки (2) импульсным электронным пучком с плотностью энергии 1,6 Дж/см2; б —до отжига {4) и после термического отжига (5) в течение 30 мин при 196°С: ГО — граница отражения; Р — разрешение; —профиль, рассчитанный при Z)J=" = 1,8-10-11 см2 500 1000 то гооо zsoo зооо h,A 306
Карта
|
|
|
|
|
|
|
|
Страницы: 1 2 3... 304 305 306 307 308 309 310... 423 424 425
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу |
