Модифицирование и легирование поверхности лазерными, ионными и электронными пучками
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо
Если Вы являетесь автором данной книги и её распространение ущемляет Ваши авторские права или если Вы хотите внести изменения в данный документ или опубликовать новую книгу свяжитесь с нами по по .
Страницы: 1 2 3... 303 304 305 306 307 308 309... 423 424 425
|
|
|
|
200 h Hh Qb 'ґ МНС Рис 112 Профили концентрации олова имплантированного в кремний (а) и алюминий (б) до облучения {1) и после обработки импульсным электронным пучком (2) с плотностью энергии 1,5 Дж/см^ [4] Рис 11 3 Расчетные зависимости толщин расплавленных слоев Дплав в кремнии и алюминии от времени т при импульсном облучении пучком электронов с энергией 20 кэВ, плотностью энергии 1 5 Дж/см^ и продолжительностью импульса пи 50 НС [4] ЖФ — жидкая фаза ГФ — твердая кристаллическая фаза бины ЗОНЫ расплава йдлав от времени т полученная из тепловых расчетов для условий, приведенных на рис И 2 Скорости движения межфазной границы для алюминия ^7^8,3 м/с и для кремния Vi^\,l м/с Это различие обусловлено большей теплопроводностью алюминия, что характерно для металлов по сравнению с полупроводниками Во вторых, коэффициент диффузии олова в жидкой фазе больше для кремния, чем для алюминия, что приводит к более быстрому установлению равновесия концентрации примеси на межфазной границе в кремнии Комбинированное влияние этих двух факторов показано в табл 111 [8] Оценивая скорость движения атомов олова в жидком состоянии Usn как коэффициент диффузии 111 Параметры, приводящие к появлению наблюдаемой сегрегации олова в кремнии (но не в алюминии) при обработке одинаковыми импульсными пучками электронов (1,5 Дж/см^, 50 не) Металл Сегрега ция feo {20 21] cmVc ^Sn {DJd) м/с Uj,p м/с Si(Sn) Al(Sn) Есть Нет 1,6 10-2 -4 10-3 2 10-4 2 10-5 80 8 8,3 50 1 30S
Карта
|
|
|
|
|
|
|
|
Страницы: 1 2 3... 303 304 305 306 307 308 309... 423 424 425
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу |
