Модифицирование и легирование поверхности лазерными, ионными и электронными пучками
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо
Если Вы являетесь автором данной книги и её распространение ущемляет Ваши авторские права или если Вы хотите внести изменения в данный документ или опубликовать новую книгу свяжитесь с нами по по .
Страницы: 1 2 3... 294 295 296 297 298 299 300... 423 424 425
|
|
|
|
вами примерно равна глубине области, где образуются дефекты, а время распыления материала на глубину нескольких слоев с измененными свойствами невелико. При температуре выше 100°С адсорбция Гиббса, радиационно-стимулированная диффузия и радиационно-стимулированная сегрегация дают возрастающий вклад, а толщина слоя с измененными свойствами и время, необходимое для установления равновесного состояния, быстро возрастают с температурой. Возрастание времени установления равновесного состояния и степени обеднения приповерхностной области атомами Си (или обогащения Ni) при увеличении температуры иллюстрируется данными рис. 10.7 из упоминавшейся неопубликованной работы Лэма и Видерзиха. На рисунке приведены расчетные временные зависимости отношения Оже-пиков /мі (716 эВ)//си (920 эВ). При температурах ниже 500°С равновесное состояние устанавливается относительно быстро. Увеличение температуры приводит к росту времени достижения равновесия. Например, при температуре 700°С равновесие устанавливается за ^ 10^ с. Зависимость скорости обеднения приповерхностной области медью от температуры носит экстремальный характер с максимумом при температуре -^бОО^С. Отношение интенсивностей Оже-пиков, рассчитанное для равновесного состояния, мало изменяется при температурах ниже SOO^'C, поскольку перемешивание подавляет адсорбцию Гиббса. В этих условиях обеднение приповерхностной области медью слабо зависит от температуры. При температурах выше бОО^'С превалирует адсорбция Гиббса, концентрация меди в приповерхностной области сильно зависит от температуры, а отношение интенсивностей Оже-пиков быстро возрастает с температурой, достигая максимума при ^700°С. В области более высоких температур адсорбция Гиббса снижается, обеднение приповерхностной области медью оказывается меньше, чем при 700°С, но простирается эта область на значительно большие глубины. Отношение интенсивностей Оже-пиков в равновесном состоянии при температурах выше 700°С должно уменьшаться. Расчетные зависимости времени установления равновесия и температурной зависимости величины Оже-пиков хорошо согласуются с экспериментальными данными [9, 39]. 10.4. Обобщение и выводы В работе рассмотрены современные представления об изменении состава сплавов при радиационном распылении. В последние годы установлено, по крайней мере, шесть различных процессов, сопровождающихся изменением состава: преимущественное распыление, имплантация атомами отдачи, каскадное перемешивание, радиационно-стимулированная диффузия, адсорбция Гиббса и радиационно-стимулированная сегрегация. Взаимодействие отдельных процессов делает радиационно-стимулированное изменение состава достаточно сложным явлением. Все перечисленные процес 296
Карта
|
|
|
|
|
|
|
|
Страницы: 1 2 3... 294 295 296 297 298 299 300... 423 424 425
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу |
