Модифицирование и легирование поверхности лазерными, ионными и электронными пучками
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо
Если Вы являетесь автором данной книги и её распространение ущемляет Ваши авторские права или если Вы хотите внести изменения в данный документ или опубликовать новую книгу свяжитесь с нами по по .
Страницы: 1 2 3... 284 285 286 287 288 289 290... 423 424 425
|
|
|
|
нарушений должна превосходить толщину слоя измененных свойств. Однако при низкотемпературном атермическом режиме перемешивания толщина слоя измененных свойств не может превосходить величину области нарушений. Несколько иная ситуация наблюдается при повышенных температурах, когда становится существенной тепловая миграция радиационных дефектов и радиационно-стимулированная диффузия сказывается на глубинах, значительно превышающих область нарушений. Согласно данным [39] глубина слоя измененных свойств в медном сплаве с массовой долей никеля 40% (Си —40% N1) составляла 50, 500 А и несколько тысяч ангстрем после двухчасового распыления при температуре соответственно 300, 350 и 450°С (рис. 10.2). Даже для установления равновесного состояния толщина измененного слоя (^30 А) многократно превосходит проективный пробег ионов Аг+ энергией 5 кэВ. Ясно, что при высокотемпературном распылении радиационно-стимулированная диффузия распространяется на расстояния, значительно превышающие область разрушений. На основании уравнения (10.15) получены оценки коэффициента диффузии для температур 300, 350 и 450''С, которые оказались равными 2-10~^^ 2•10-^^ и несколько единиц хЮ"^^ см^/с Величина б определялась экспериментально, а скорость распыления составляла 0,5 А/с. Следует отметить значительное усиление диффузии под действием облучения в пределах измененного слоя, л возможно, и глубже. Полученные оценки для коэффициента диффузии выше оценок, приведенных на рис. 8.1, однако не на столько, чтобы говорить о противоречивости результатов. На рис. 10.2 приведены данные, полученные при распылении со скоростью подповерхностных смещений, на два порядка превышающей аналогичную величину для данных гл. 8. Зависящее от времени решение уравнений для преимущественного распыления и диффузии, полученное в [42], показывает, что равновесное состояние достигается лишь после распыления на глубину, в несколько раз превышающую толщину слоя измененных свойств. Этот вывод полностью согласуется с результатами [9, 39]. Рис. 10.2. Зависимость отношения Оже-пиков никеля (716 эВ) и меди (920 эВ) /ni//cu от времени распыления t при комнатной температуре. Глубина выхо оо да ^--15 А, скорость распыления 0,5 А/с. Образцы предварительно подвергались распылению в течение 2 ч при следующих температурах: кривая / — 200"С, 2~ЪШС, 5 — 350°С, 4-450°С. Точки на оси ординат соответствуют исходной поверхности (Я) образцов
Карта
|
|
|
|
|
|
|
|
Страницы: 1 2 3... 284 285 286 287 288 289 290... 423 424 425
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу |
