Модифицирование и легирование поверхности лазерными, ионными и электронными пучками
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо
Если Вы являетесь автором данной книги и её распространение ущемляет Ваши авторские права или если Вы хотите внести изменения в данный документ или опубликовать новую книгу свяжитесь с нами по по .
Страницы: 1 2 3... 283 284 285 286 287 288 289... 423 424 425
|
|
|
|
[22] применена к проблеме разрешения по глубине при анализе профилей распыления. Воспользуемся весьма простым приближением для скорости распыления ^^K^{E^^JUM,(10.16) где Kq — объемная скорость зарождения смещений (число смещений на атом в секунду) вблизи поверхности; ^э. см — эффективная пороговая энергия смещения, используемая в модифицированном уравнении Кинчина — Пиза и в некоторых часто используемых для расчета интенсивностей смещения машинных кодах [44, 45]; Us — средняя энергия связи атомов на поверхности сплава; р(^1/2) — геометрический коэффициент, учитывающий возможность распыления лишь тех атомов, которые получили импульс, направленный вгружу; у(^1/2)—коэффициент, учитывающий, что только каскадные процессы, направленные внутрь мишени, дают вклад в распыление, тогда как при определении объемной интенсивности смещения учитываются каскады во всех направлениях от смещенного атома; bi^^Q^^^^^Ь) (т. е. равно расстоянию между ближайшими соседями)—эффективная толщина слоя, из которого выбиваются распыленные атомы. Недавно была составлена таблица значений поверхностной энергии связи и пороговой энергии смещения для многих металлов, и показано, что для большинства из них отношение Еэ.сш/Us находится в диапазоне 7. ..II [22]. Полагая, что это отношение равно 9, р=1/2 и 7=1/2, для скорости распыления получаем оценку v;^2,255/Co,(10.17) что соответствует двум-трем монослоям на смещение атома в приповерхностной области. Объединяя уравнения (10,17) и (10.15) и полагая ь = 2,5Х Х10~^ см, получим оценку для толщины слоя измененного состава S=D/(5,6.10-^/Co).(10.18) Для скорости 10~^ смещений на атом в секунду (см. рис. 8.1) коэффициент диффузии /^З-Ю"^^ см^/с при низкотемпературном каскадном перемешивании (^200^*0) и ^5-10^^^ cmVc при диффузии на стоках, доминирующей, если температура ^бОО^'С. Соответствующие равновесные значения толщины слоя с измененными свойствами равны ^50 А (200^С) и —1 мкм (--600°С). Следует сделать несколько замечаний относительно приведенных оценок. При получении уравнения (10.15) и, следовательно, (10.16) предполагается, что значение D постоянно в пределах диффузионной области. Для низкотемпературного режима каскадного перемешивания это предположение справедливо, если область зарождения дефектов превосходит толщину слоя измененного состава. Поскольку коэффициент диффузии, связанной с каскадным перемешиванием, пропорционален скорости смещений v, толщина слоя измененного состава не зависит от скорости распыления и слабо зависит от массы и энергии распыляющих ионов, а область 285
Карта
|
|
|
|
|
|
|
|
Страницы: 1 2 3... 283 284 285 286 287 288 289... 423 424 425
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу |
