Модифицирование и легирование поверхности лазерными, ионными и электронными пучками
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо
Если Вы являетесь автором данной книги и её распространение ущемляет Ваши авторские права или если Вы хотите внести изменения в данный документ или опубликовать новую книгу свяжитесь с нами по по .
Страницы: 1 2 3... 271 272 273 274 275 276 277... 423 424 425
|
|
|
|
Глава 10. Распыление и изменение состава Н. Видерзих, Отдел материаловедения, Аргоннская национальная лаборатория, г. Аргони, штат Иллинойс По материалам: X. X. Андерсен, Я. /С. Лэм, Л. Рен, X. В. Пик-керинг 10.1. Введение Распыление атомов поверхности твердого тела при облучении потоком частиц впервые было обнаружено более 100 лет назад [1]. Однако большинство экспериментальных исследований и теоретический анализ процессов проведены в последние 30 лет. Обстоя-іельньїй обзор различных аспектов распыления можно найти в работах [2—4]. Более 20 лет назад [5] экспериментально была показана возможность изменения состава поверхностных слоев сплавов при облучении. Последнее десятилетие отмечено возрастающим интересом к исследованию распыления многокомпонентных материалов. Обзор работ в этой области приведен в [6]. Еще пять лет назад наиболее убедительной представлялась модель изменения состава приповерхностной области в результате распыления, предложенная авторами [7]. Суть модели сводится к следующему. ГІри избирательном распылении вероятность покинуть поверхность для атомов одной из компонент сплава оказывается выше. Вместе с тем каскадное перемешивание обеспечивает однородность состава в пределах так называемого слоя измененных свойств, толщина которого приблизительно равна проективному пробегу ионов. По мере обеднения состава поверхностного слоя легкораспыляемой компонентой устанавливается равновесное состояние, при котором состав потока распыляемых атомов соответствует исходному составу сплава. Эта простая модель вполне удовлетворительно описывала ряд экспериментальных наблюдений. Однако вскоре стало ясно, что для установления равновесия во многих случаях требуется значительно большее время, чем предсказывает теория [8], а глубина слоя с измененными свойствами намного превосходит расчетную, особенно при повышенных температурах [9]. В настоящее время известно, по крайней мере, пять различных механизмов изменения состава приповерхностного слоя в процессе распыления: преимущественное распыление; имплантация атомами отдачи и каскадное перемешивание; радиационно-стимулированная диффузия; адсорбция Гиббса и радиационно-стимулированная сегрегация. Относительный вклад перечисленных механизмов в изменение состава потока распыляемых атомов и концентрационные 273
Карта
|
|
|
|
|
|
|
|
Страницы: 1 2 3... 271 272 273 274 275 276 277... 423 424 425
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу |
