Модифицирование и легирование поверхности лазерными, ионными и электронными пучками
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо
Если Вы являетесь автором данной книги и её распространение ущемляет Ваши авторские права или если Вы хотите внести изменения в данный документ или опубликовать новую книгу свяжитесь с нами по по .
Страницы: 1 2 3... 269 270 271 272 273 274 275... 423 424 425
|
|
|
|
степень перемешивания зависит от диссипации энергии (эВ/А) внутри каскада столкновений; почти температурно-независимый режим ионно-лучевого перемешивания имеет много признаков перемешивания при отдаче, рассчитанных для тонких маркированных слоев. эффективное перемешивание протекает преимуи;ественно вне пределов каскада столкновений. В настояш,ее время мы еще не в состоянии предсказать степень перемешивания для любой новой системы. Можно лишь выдвигать разумные предположения, вытекающие из данных по термическим реакциям, но в то же время обнаруживаются и важные исключения. Метастабильные фазы формируются, но четких критериев для поиска этих фаз пока не существует. Установлена только связь между явлениями распыления и ионно-стимулированными выделениями и сегрегациями. Поэтому данная область исследований представляется весьма интересной. СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ 1.Tsaur В. Y., Liau Z. L., Lau S. S., Mayer J. W. (1979). Thin Solid Films. 63, 31. 2.Mayer J. W., Lau S. S., Tsaur B. Y., Hirvonen J. K. (1980). In: "Ion Implantation Metallurgy^, eds. C. M. Preece, J. K. Hirvonen. P. 37. The Metallurgical Society of AIME, New York. 3.Tsaur B. Y., Liau Z. L., Mayer J. W. (1979). Appl. Phys. Lett. 34, 168. 4.Liau Z. L., Brown W. L., Homer R., Poate J. M. (1077). Appl. Phys. Lett. 30, 626. 5.Liau Z. L., Mayer J. W., Brown W. L., Poate J. M. (1978). J. Appl. Phys. 49, 5295. 6.Blank P., Wittmaack K. (1979). Radiat. Effects lett. 43, 105. 7.Wach W., Wittmaack K. (1981). J. Appl. Phys. 52, 3341. S. Liau Z. L, Tsaur B. Y., Mayer J. W. (1979). J. Vac. Sci. TechnoL 16. 121. 9.Liau Z. L., Mayer J. W. (1980). In: "Ion ImpIantation", ed. J. K. Hirvonen, Vol. 18. In: ^Treatise on Materials Science and Technology", ed. H. Herman. Ch. 2. Academic Press, New York. 10.Tsaur B. Y., Lau S. S„ Hung L. S., Mayer J. W. (1981). Nucl. Instr. and Meth. 182/183, 67. 11.Mayer J. W., Tsaur B. Y., Lau S. S., Hung L. S. (1981). Nucl. Instr. and Meth. 182/183, 1. 12.Tsaur B. Y., Lau S. S., Mayer J. W. (1981). Phil. Mag. B44, 95, 13.Tsaur B. Y., Maenyaa M. (1981), J. Appl. Phys, 54; 728. 14.Thompson D. A. (1981). Rad. Effects. 56, 105. 15Tu K. N., Mayer J, W. (1978). In: "Thin Films — Interdiffusion and Reactions", eds. J. M. Poate, K. N. Tu, J. W. Mayer. Ch. 10. Wiley-Interscience, N. Y. 16.Ottaviani G., Mayer J. W. (I98I). In: "ReIiability and Degradation", eds. M. J. Homes, D. V. Morgan. Ch. 2. Wiley-Interscience, New York. 17.Tsaur B. Y., Matteson S., Liau Z. L., Nicilet M. A. (1979). Appl. Phys. Lett. 35, 825. 18.Matteson S., Paine B. M., Grimaldi M. G., Mezevy G., Nicolet M. A. (1981), Nucl. Instr. and Meth. 182/183, 43. 19.Matteson S., Paine B. M., Nicolet M. A. (1981), Nucl. Instr, and Meth., 182/183, 53. m Andersen H. H. (1979), Appl. Phys. 18, 131. 21.Littmark U., Hofer W. O. (1980), Nucl. Instr. and Meth., 168, 329. 22.Littmark U., Hofer W. O. (1980), Nucl. Instr. and Meth., 170, 177. 23.Sigmund P., Gras-Marti A. (1981), Nucl. Instr. and Meth. 182/183, 25. 271
Карта
|
|
|
|
|
|
|
|
Страницы: 1 2 3... 269 270 271 272 273 274 275... 423 424 425
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу |
