Модифицирование и легирование поверхности лазерными, ионными и электронными пучками
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо
Если Вы являетесь автором данной книги и её распространение ущемляет Ваши авторские права или если Вы хотите внести изменения в данный документ или опубликовать новую книгу свяжитесь с нами по по .
Страницы: 1 2 3... 268 269 270 271 272 273 274... 423 424 425
|
|
|
|
выраженных фаз ионными пучками связано с миграцией дефектов (вероятнее всего вакансий). Есть основания полагать, что ионно-лучевое перемешивание в термически активируемом режиме имеет много преимуществ в связи с сопутствующими ионной бомбардировке выделениями вторичных фаз и сегрегацией, как это обсуждалось в гл. 8. Последнее вытекает из работ по радиационному повреждению, включая облучение массивных материалов при повышенных температурах высокими дозами легких ионов. Исследования ионно-лучевого перемешивания концентрируются главным образом на ионной имплантации и распылении. Только недавно [25] были предприняты попытки соединить эти направления. Система никель — кремний представляет одну из таких возможностей, а эвтектические системы золото — кремний и серебро — кремний могут представить вторую. с этой точки зрения следует отметить, что поверхностные сегрегации (сегрегации Гиббса), обусловленные ионной бомбардировкой, вероятно, играют важную роль в преимущественном распылении, т. е. преимущественное распыление под действием термодинамических движущих сил может быть более важным, чем преимущественная передача энергии внутри каскадов столкновений. 9.7. Заключение и обсуждение перспектив Прохождение тяжелых ионов через границу раздела между осажденным слоем и подложкой приводит к перемешиванию слоя и подложки, что может служить альтернативой прямой высокодозной ионной имплантации как методу модификации материалов. Как термодинамические факторы, так и передача энергии внутри каскадов столкновений вокруг трека иона имеют важное значение при определении перемешивания. Термодинамические факторы: несмешивающиеся системы (медь — вольфрам) имеют тенденцию не перемешиваться, в то время как системы, имеющие равновесные фазы (силициды), смешиваются эффективно; степень перемешивания в подобных системах коррелирует с термодиффузионными свойствами (силицидов) и зернограничной диффузией (система золото — серебро); существование хорошо выраженных фаз, однородных по толщине, свнлетельствует о том, что в этих процессах участвуют вакансии; выше некоторой, определенной для данной системы, температуры, степень перемешивания становится температурно-зависимой, что указывает на термическую активацию процесса; образование метастабильных фаз и ионно-стимулированное расслоение и сегрегация свидетельствуют о действии термодинамических факторов. Перемешивание при отдаче и баллистические эффекты в каскадах столкновений: 270
Карта
|
|
|
|
|
|
|
|
Страницы: 1 2 3... 268 269 270 271 272 273 274... 423 424 425
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу |
