Модифицирование и легирование поверхности лазерными, ионными и электронными пучками
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо
Если Вы являетесь автором данной книги и её распространение ущемляет Ваши авторские права или если Вы хотите внести изменения в данный документ или опубликовать новую книгу свяжитесь с нами по по .
Страницы: 1 2 3... 267 268 269 270 271 272 273... 423 424 425
|
|
|
|
Рис. 9.16. Светлопольное электронно-микроскопическое изображение образцов состава AusoNiso после нанесения слоев (а) и перемешанный пучком твердый раствор (б). Увеличение размера зерен обусловлено ионно-лучевым перемешиванием 9.6. Эвтектические системы Ионно-лучевое перемешивание в эвтектических системах рассматривается в работе [45], но к настоящему времени детально исследовано только несколько систем. Системы золото — кремний и серебро —кремний являются простыми эвтектическими, однако их поведение совершенно различается. В системе золото — кремний наблюдаются не только сильные диффузионные эффекты во время распыления [6], но и ионно-стимулированное фазообразование. Система серебро — кремний по сравнению с системой золото — кремний относительно нечувствительна к ионному перемешиванию {45, 46]. Следует полагать, что это различие в поведении связано с присутствием в системе золото— кремний метастабильных фаз и вообще сильная диффузия в системах металл — металл и металл — кремний обнаруживалась только в тех случаях, когда наблюдалось образование фаз. Система золото — кремний, для которой характерны высокие скорости диффузии, является также хорошим тестовым объектом для изучения расслоения при высоких дозах ионов, В случае длительного облучения, при дозах, больших, чем требуется для образования метастабильных фаз (состав, примерно соответствующий Au/Sis), кремний мигрирует к поверхности и метастабильные фазы распадаются на золото и кремний [47]. Этот эффект расслоения напоминает ионно-стимулированную сегрегацию (обсуждена в гл. 8 и в [48]). Из гл. 8 следует, что точечные дефекты, образованные при ионной бомбардировке, вызывают сегрегацию. Как отмечалось выше, образование (и распад) хорошо 269
Карта
|
|
|
|
|
|
|
|
Страницы: 1 2 3... 267 268 269 270 271 272 273... 423 424 425
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу |
