Модифицирование и легирование поверхности лазерными, ионными и электронными пучками
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо
Если Вы являетесь автором данной книги и её распространение ущемляет Ваши авторские права или если Вы хотите внести изменения в данный документ или опубликовать новую книгу свяжитесь с нами по по .
Страницы: 1 2 3... 265 266 267 268 269 270 271... 423 424 425
|
|
|
|
мообработка приводит к более заметной взаимной диффузии в парах поликристаллических пленок золото —серебро, чем в монокристаллических эпитаксиальных парах, что обусловлено быстрой диффузией по границам зерен. Спектры обратного рассеяния, показанные на рис. 9.13, также свидетельствуют о том, что взаимная диффузия более существенна в поликристаллических, а не в монокристаллических системах [43]. В системах золото — серебро также наблюдается различие между реакциями, стимулированными ионными пучками и термообработкой. При ионно-лучевом перемешивании монокристаллических образцов образуется метастабильная сверхрешетка структуры золото — серебро, в то же время такие фазы не обнаруживаются при термических реакциях. Имеются свидетельства того, что ионно-лучевое перемешивание относительно невелико в несмешивающихся системах (существование некоторого перемешивания было продемонстрировано на многослойных системах [42]). В работе [44] показано, что ионное перемешивание протекает эффективнее в системе золото — медь (рис. 9.1), чем в несмешивающейся системе золото — вольфрам. 2 гт Рис. 9.13. Спектры обратного рассеяния от поли(а) и монокристаллических (б) двойных слоев золото — серебро до (/) и после (2) облуче^-ния ионами ксенона с энергией 250 кэВ и дозой 1016 см-2 {2)\ у — выход ионої^ на канал 9.5. Многослойные системы металл —металл Образование метастабильных фаз ионно-стимулированными реакциями в системах металл — металл удобно изучать на многослойных образцах, когда пленки достаточно тонки (/^200А каждая), так что равномерное перемешивание может реализоваться даже в несмешивающихся системах. Ход экспериментов [42] схематически показан на рис. 9.14. Этот подход в общем ведет к предсказанию образования единичных фаз ГЦК-сгглавов в системах на основе золота [12, 13], Даже для относительно сложных фазовых диаграмм систем на основе золота образуются достаточно простые структуры с составом, определяемым отношением начальных толщин пленок. Комбинация ГЦЛ(золото) и ОЦК(ванадий) металлов приводит к образованию ГЦК-сплавов, богатых золотом и ОЦК-сплавов, богатых ванадием (рис. 9.15). По раскрытию механизмов ионно-лучевого перемешивания многослойные системы более полезны при исследовании метастабиль 267
Карта
|
|
|
|
|
|
|
|
Страницы: 1 2 3... 265 266 267 268 269 270 271... 423 424 425
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу |
