Модифицирование и легирование поверхности лазерными, ионными и электронными пучками
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо
Если Вы являетесь автором данной книги и её распространение ущемляет Ваши авторские права или если Вы хотите внести изменения в данный документ или опубликовать новую книгу свяжитесь с нами по по .
Страницы: 1 2 3... 264 265 266 267 268 269 270... 423 424 425
|
|
|
|
столкновений). Даже в ранней работе [32] показано, что перемешивание в двухслойных структурах протекает, когда ионы проходят через границу металл — кремний. Поэтому можно сделать вывод о том, что эффективное перемешивание протекает только для каскада столкновений. 9.4. Двухслойные системы металл — металл Для систем, состоящих из тонких алюминиевых пленок и почти благородных элементов (никель, палладий, платина), ионно-лучевым перемешиванием формируются интерметаллические фазы [11]. По-видимому, скорость образования таких фаз сравнима со скоростью образования силицидов (рис. 9.12). Конечно, существуют признаки того, что первая фаза, образованная иопнон бомбардировкой, может отличаться от образованной в результате термических реакций. Нет достаточных данных экспериментов по проверке различия между образовавшимися начальными фазами. Различие может быть ложным сигналом, обусловленным загрязнением на границе между двумя пленками металлов. Основываясь на результатах, полученных на силицидах и ин-терметаллидах алюминия, можно предположить, что ионно-лучевое перемешивание будет приводить к образованию хорошо выраженных фаз в системах, равновесные фазовые диаграммы которых свидетельствуют о существовании фаз с конгруэнтной точкой плавления (диаграммы, подоб-Уо(Грас'^о^^^^^ приведенной на рис. б|^ ______.л„ ^1 9.8 для системы плати на — кремний). Можно также предположить, что термически обусловленные реакции могут быть использованы в качестве критерия при оценке ионно-стимулированных реакций. В данном случае также нет достаточных экспериментальных данных для доказательства справедливости этого предположения. Поведение пар тонких пленок золото — серебро также показывает, что степень взаимной диффузии, обусловленной ионным перемешиванием, можно предсказать по термическим данным. Тер 10 В,М98 Рис. 9.12. Спектры обратного рассеяния для тонких пленок Al—Pt, имплантированных при комнатной температуре ионами ксенона энергией 300 кэВ. Ступеньки на спектрах соответствуют соединению PtAb [11]: J— необлученный; 2 —Ф-Ю'^ см-^; 3—Ф=^ 266
Карта
|
|
|
|
|
|
|
|
Страницы: 1 2 3... 264 265 266 267 268 269 270... 423 424 425
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу |
