Модифицирование и легирование поверхности лазерными, ионными и электронными пучками
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо
Если Вы являетесь автором данной книги и её распространение ущемляет Ваши авторские права или если Вы хотите внести изменения в данный документ или опубликовать новую книгу свяжитесь с нами по по .
Страницы: 1 2 3... 263 264 265 266 267 268 269... 423 424 425
|
|
|
|
кель [25, 3]; тугоплавкие металлы [35—38], включая молибден [39] и ниобий [40, 41]; редкоземельные металлы [28] и даже золото [42], где образовывалась метастабильная кристаллическая фаза с составом, близким к эвтектическому. Общие особенности этих исследований следующие: 1)одинаковые начальные фазы формировались при ионном перемешивании и термообработке (за исключением метастабильной фазы АцбЗіг и скорее гексагональной, чем тетрагональной фазы WSis); 2)для образования хорошо определяемых фаз силицидов тугоплавких металлов необходимы повышенные температуры подложки и отжиг при температурах 450...600°С; 3)толщина образующихся слоев силицидов зависит от ионной дозы Ф (как Y Ф) или имеет линейную дозную зависимость в системах, в которых толщина зависит от времени t какУ" t, или имеет линейную временную зависимость при термообработке. Все эти результаты предполагают, что в случае обнаружения эффективного перемешивания и хорошо выраженных фаз протекает радиационно ускоренная диффузия за счет миграции вакансий за пределы каскада столкновений. Как следует из спектров обратного рассеяния (рис. 9.10), образование дисилицида хрома [11,28] является примером линейной зависимости от дозы. В случае ионного перемешивания при 250Х (в сравнении с термообработкой при 450''С) состав силицида однороден и толщина слоя возрастает пропорционально дозе. В случае обг? тtoo о -юо -т т.'с лучения при комнатной и более низких температурах перемешанный слой неоднороден по составу. Температурная зависимость степени перемешивания при образовании силицидов хрома и ниобия показана на рис. 9.11. Ниже комнатной температуры перемешивание относительно независимо от температуры. Как можно было бы предположить, если бы оно было обусловлено баллистическими эффектами или эффектами отдачи. В термически активи L-1-1-1-l-l рованном режиме присутствие хоро^ ^ .Лт ^g-jt то выраженных фаз показывает, что проявляется действие точечных дефектов: начинается миграция вакансий. К настоящему времени нет данных, указывающих на то, что дефекты мигрируют на большие расстояния (за пределы объема каскада 1—і—г ЛС Спались Рис. 9.11, Количество атомов кремния, содержащихся в перемешанных (ПС) слоях хром — креиний и ниобий — кремний в зависимости от температуры имплантации 41]: D — степень перемешивания (в относительных единицах) 265
Карта
|
|
|
|
|
|
|
|
Страницы: 1 2 3... 263 264 265 266 267 268 269... 423 424 425
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу |
