Модифицирование и легирование поверхности лазерными, ионными и электронными пучками
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо
Если Вы являетесь автором данной книги и её распространение ущемляет Ваши авторские права или если Вы хотите внести изменения в данный документ или опубликовать новую книгу свяжитесь с нами по по .
Страницы: 1 2 3... 262 263 264 265 266 267 268... 423 424 425
|
|
|
|
4) аморфний и метастабильные ^кристаллические фааы могут быть сравнительно легко получены ионно-лучевым перемешиванием. 9.3. Эффекты перемешивания в силицидообразуюш. их системах Силицидообразующие системы являются привлекательными для изучения нонно-лучевого перемешивания, поскольку поведение структур металл — кремний при термическом отжиге тщательно изучено и вследствие потенциальной возможности их применения при произйодстве интегральных схем. Поэтому имеется значительное количество работ, посвященных исследованиям образования силицидов под действием ионной бомбардировки, в дополнение к работам по системе платина — кремний, ссылки на которые приведены выш^ (см. п. 9.2), можно упомянуть следующие: металлы, близкие к благородным [31], включая палладий [32, 33, 34], ни 10 УООА Cr/5/W0 Е,МэВ Рис. 9.10. Спектры обратного рассеяния ионов гелия энергией 1,5 мэВ, иллю-с'?^\\рукщїіг сло^с-їнй рос-т фазн CrSb, нонно-лучевом перемешивании \\\\ Толщины Сг8І2 возрастают линейно с ростом доз, что аналогично кинетике прн обычной тепловой обработке 264
Карта
|
|
|
|
|
|
|
|
Страницы: 1 2 3... 262 263 264 265 266 267 268... 423 424 425
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу |
