Модифицирование и легирование поверхности лазерными, ионными и электронными пучками
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо
Если Вы являетесь автором данной книги и её распространение ущемляет Ваши авторские права или если Вы хотите внести изменения в данный документ или опубликовать новую книгу свяжитесь с нами по по .
Страницы: 1 2 3... 261 262 263 264 265 266 267... 423 424 425
|
|
|
|
Рис. 9.9. Схема, иллюстрирующая образование различных слоев, богатых кремнием, в результате перемешивания пленки PtSi на кремнии различными дозами ионов ксенона при комнатной температуре. Образование метастабильных фаз РігЗіз и PtiSift произошло в результате последующего отжига отжига обнаруживаются одновременно PtaSis (метастабильная) и PtSi (стабильная) фазы. При дозе ЫО^^см"^ весь начальный слой PtSi был однородно перемещан с образованием слоя PtSii,5, ко-в -5/ 1 торый, в свою очередь, превратился в метастабильную кристаллическую фазу Pt2Si3. Даже при более высоких дозах можно получить сосуществование двух метастабильных фаз (Pt2Si3 и РІ45І9) или образование одной метастабильной фазы Pt4Si9. Интересно отметить, что составы РІ28із и Pt4Si9 близки к эвтектике (67,5% кремния) на фазовой диаграмме платина —кремний (см, рис. 9.8). Кристаллическая структура РІ28із была идентифицирована как гексагональная, распадающаяся на PtSi и кремний при -'500°С [26, 27]. Измерения сопротивления при низких температурах показывают, что в кристаллической фазе Pt2Si3 имеется переход в сверхпроводящее состояние, начинающийся при '^4,2К и полный переход при ^3,6 к. 9.2.5. Система Pt-^Si: Заключение Используя систему платина — кремний как пример, мы продемонстрировали следующие примеры реакций, инициированных ионным пучком: 1)ионно-лучевое перемешивание с тонкими маркированными слоями, расположенными в кремнии, может трактоваться в рамках теории столкновений; 2)для более толстых слоев с двухслойной конфигурацией эффекты перемешивания проявляются значительно сильнее предсказанных моделями столкновений, причем в этом случае хорошо различимая силицидная фаза образуется в результате ионного облучения; 3)действие ионного пучка при образовании первой силицидной фазы аналогично действию термического отжига; 263
Карта
|
|
|
|
|
|
|
|
Страницы: 1 2 3... 261 262 263 264 265 266 267... 423 424 425
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу |
