Модифицирование и легирование поверхности лазерными, ионными и электронными пучками
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо
Если Вы являетесь автором данной книги и её распространение ущемляет Ваши авторские права или если Вы хотите внести изменения в данный документ или опубликовать новую книгу свяжитесь с нами по по .
Страницы: 1 2 3... 259 260 261 262 263 264 265... 423 424 425
|
|
|
|
на и аргона энергией 300 кэВ в пленках платины [3]. Этот резуль^ тат является только оценкой, поскольку на границе металл — полу проводник энергетические потери изменяются [25], и мы, конечно, предполагаем, что начальная скорость реакции должна быть пропорциональной всей энергии, рассеянной в области границы. Наличие фазы PtsSi в перемешанных слоях определялось ренТ' генодифракционным методом. Относительно фазообразования рост РІ28і, обусловленный ионным пучком, аналогичен росту при терми-ческом отжиге, поскольку вначале при отжиге образуется Pt2Si й кинетика роста пропорциональна квадратному корню из времени. 9.2.4. Образование метастабильных фаз. Система Pt—Si Как уже упоминалось выше, толщина слоя силицида увеличн-вается с возрастанием дозы имплантации по мере протекания ион-но-стимулированной реакции. При дозах, больших, чем необходимо для использования всего непрореагировавшего металла, ионно-лучевое перемешивание может привести к образованию фаз, более богатых кремнием, или смеси кремния с аморфными слоями металла. Для системы платина — кремний, силицид, формируемый ионной бомбардировкой, соответствует формуле соединения Pt2Si. После полного использования платины для образования Pt2Si дальнейшая имплантация приводит к появлению аморфных перемешанных слоев платины с кремнием [26, 27], а не слоев PtSi, как наблюдалось при термическом отжиге. По мере протекания имплантации все больше кремния смешивается с аморфным слоем и состав смеси становится обогащенным кремнием. Окончательный состав смеси зависит от начальной толщины слоя платины, пробега налетающих ионов и эрозии поверхности образца в результате распыления. Если процесс перемешивания протекает эффективно (как в случае системы платина — кремний), эффектами распыления можно пренебречь и окончательный состав перемешанного слоя может быть аппроксимирован следую щим выражением [28]: Cp^xq где Csi, Cpt — атомные плотности кремния и платины; Xq — начальная толщина слоя платины; х/ — глубина проникновения имплантированных ионов. Следовательно, окончательный состав перемешанного слоя с ростом энергии имплантируемых ионов обогащается кремнием. Как показано на рис. 9.7 для образцов, состоящих из слоя платины толщиной 240 А на кремнии, имплантированных ионами ксенона, окончательный состав (Nsi/Npt) аморфного слоя соответствует 1,2 и ---1,8 для ионов энергией 150 и 250 кэВ соответственно. 261
Карта
|
|
|
|
|
|
|
|
Страницы: 1 2 3... 259 260 261 262 263 264 265... 423 424 425
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу |
