Модифицирование и легирование поверхности лазерными, ионными и электронными пучками
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо
Если Вы являетесь автором данной книги и её распространение ущемляет Ваши авторские права или если Вы хотите внести изменения в данный документ или опубликовать новую книгу свяжитесь с нами по по .
Страницы: 1 2 3... 257 258 259 260 261 262 263... 423 424 425
|
|
|
|
показано на рис. 9.5; 2) Dt относительно нечувствителен к массе атомов маркированного слоя; 3) огношениене зависит от температуры в интервале 80...300 К и 4) отношение Dt|Ф пропорционально ядерной тормозной способности, следовательно, эффективность перемешивания выше для тяжелых, чем для легких ионов. Основываясь на этих наблюдениях и принимая для ионно-лучевого перемешивания модель хаотического движения атомов, авторы работы [19] отнесли квадрат диффузионной длины к среднеквадра-тическому пробегу атомов примеси для данной энергии выбитых атомов. Согласно этой модели Dt пропорционален ионной дозе, не зависит от температуры и определяется свойствами материала только через его атомную массу, атомный номер и эффективную энергию смещения атомов маркированных слоев. Эти предположения находятся в хорошем согласии с экспериментальными данными. 9.2.2. Тонкие маркированные слои. Общие замечания Уширение маркированных слоев, состоящих из примесных атомов, обусловленное первичными и вторичными выбитыми атомами в пределах каскада столкновений, часто называемое перемешиванием за счет выбитых атомов или баллистическим перемешиванием, рассматривалось рядом авторов [20—23]. Зигмунд и Грас-Мар-ти [23], например, теоретически рассмотрели явление перемешивания разбавленных примесей в гомогенных матрицах при ионной бомбардировке с точки зрения столкновений. Было обнаружено, что уширение профилей платины в кремнии согласуется с механизмом перераспределения атомов матрицы при ионной бомбардировке. Перераспределение атомов матрицы главным образом обусловлено эффектом выбивания последних ионами, при этом слои примесных люмов "размазываются" в результате относительного взаимного движения примесей и атомов матрицы. Следовательно, можно заключить, что для разбавленных примесных атомов в гомогенной матрице перемешивание атомов при ионном облучении при комнатной температуре и ниже обусловлено в основном взаимодействием между налетающими ионами и атомами матрицы, причем это взаимодействие можно рассматривать с точки зрения столкновений. Эксперименты с тонкими маркированными слоями дают возможность оценить нижний предел или минимальное перемешивание, которое происходит при реакциях, обусловленных ионным пучком. Облучение при повышенных температурах, когда движение дефектов может быть преобладающим [24] может привести к усилению "размазывания". Тонкие маркированные слои, конечно, представляют систему разбавленной примеси, которую в дальнейшем мы не будем детально анализировать. В основном внимание будет сосредоточено на тех структурах, в которых большие атомные концентрации могут быть введены в мишень в результате ионной бомбардировки. е-259
Карта
|
|
|
|
|
|
|
|
Страницы: 1 2 3... 257 258 259 260 261 262 263... 423 424 425
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу |
