Модифицирование и легирование поверхности лазерными, ионными и электронными пучками
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо
Если Вы являетесь автором данной книги и её распространение ущемляет Ваши авторские права или если Вы хотите внести изменения в данный документ или опубликовать новую книгу свяжитесь с нами по по .
Страницы: 1 2 3... 254 255 256 257 258 259 260... 423 424 425
|
|
|
|
^oSpac 10'' 5/02 Si 02 слои -aa-co Твердые растворы аи Si О 2 1,2 аи \ со 12 1л б) и Е,Мэ8 Рис. 9.2. Спектры обратного рассеяния: а — ионов гелия [показано образование равномерно перемешанного слоя золото — кобальт при облучении v.o'RnbiM пучкош (*Не+ энергией 2 МэВ) пакета из тонких слоев золота и кобальта]' / ~ неимплантированный слой; 2 — слой, имплантированный ионами ксенона энергией 300 кэВ, дозой 3 10^^ см-2 при комнатной температуре; б — ионно-перемешанных пленок золото — кобальт лруг С другом на единой основу. Поэтому ниже представим обзор, базирующийся на характерных примерах, а в заключение сформулируем предположения на будущее. 9.2. Эффекты перемешивания при образовании соединений. Силициды платины Когда исследуемая система химически нестабильна в своем начальном составе или структурном состоянии, взаимодействие между различными компонентами могут протекать при стационарных режимах термического отжига. В этом случае можно предположить, что эффекты ионно-лучевого перемешивания в таких системах не являются необходимыми, а учитывать следует лишь только столкновения между атомами. Эффекты перемешивания в системах, образующих соединения, могут быть проиллюстрированы на примере системы платина — кремний. Поведение слоев платины (^1000 А) на кремниевой подложке при стационарных режимах термического отжига хорошо описано в работах [15, 16]. При температуре 256
Карта
|
|
|
|
|
|
|
|
Страницы: 1 2 3... 254 255 256 257 258 259 260... 423 424 425
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу |
