Модифицирование и легирование поверхности лазерными, ионными и электронными пучками
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо
Если Вы являетесь автором данной книги и её распространение ущемляет Ваши авторские права или если Вы хотите внести изменения в данный документ или опубликовать новую книгу свяжитесь с нами по по .
Страницы: 1 2 3... 253 254 255 256 257 258 259... 423 424 425
|
|
|
|
Рис. 9.1. Зависимость концентрации Cau от дозы Ф для пленок золота толщиной о 200 А, перемешанных пучком ионов ксенона энергией 300 кэВ: а — реакция на внутренней границе; б — ионное перемешивание; е — с учетом распыления; 1 — ионно-лучевое перемешивание; 2 — прямая имплантация {при 150 кэВ) Аи+ в медь; ЯЯ—исходная поверхность Работам ПО ионно-лучевому перемешиванию предшествовали исследования преимущественного распыления силицидов, в которых было обнаружено, что изменения состава наблюдаются на глубинах, сравнимых с глубинами проникновения в мишень бомбардирующих ионов [4—7]. Несколько в стороне от работ ио влиянию распыления на глубинное положение профиля [8], находится работа, в которой указывается, что ионно-стимулированные реакции могут быть использованы для модификации свойств материалов [9]. Конечно, с точки зрения распыления не все материалы реагируют на ионно-стимулированные реакции в такой сильной степени, как силициды (см., например, гл. 10). Для перемешивания нерастворимых систем можно нанести много тонких слоев [10, 11]. Как показано на рис. 9.2, одним из преимуществ такого метода является то, что состав смешанного слоя определяется относительной толщиной нанесенных слоев. Это обеспечивает "ограниченное" снабжение системы заданного состава в противоположность случаю применения одного слоя, когда концентрация зависит от общей дозы налетающих ионов (см. рис. 9.1). Как показано в работах [10, 12, 13], ионное перемешивание чередующихся слоев дает прямой метод исследования образования метастабильных фаз ионными пучками. Кроме того, это дает дополнительные возможности для изучения метастабильных сплавов (см. гл. 6). В данной главе будут главным образом рассматриваться механизмы, включающие ионно-стимулированные реакции, а не природа перемешанных систем. Использование ионно-лучевого перемешивания в качестве металлургического инструмента зависит от понимания динамики процессов. В настоящее время наше понимание ограничивается общими тенденциями, базирующимися на весьма небольшом числе исследований. Каскады столкновений (см. гл. 7 и [14]) и баллистические эффекты отдачи устанавливают нижнюю границу степени перемешивания. Другой режим определяется миграцией дефектов в процессе высокотемпературного облучения (см. гл, 8). Изменения состава во время ионной бомбардировки и распыления (см. гл. 10) согласуются с таковыми при ионно-лучевом перемешивании. Эти различные приближения до сих пор не связаны 255
Карта
|
|
|
|
|
|
|
|
Страницы: 1 2 3... 253 254 255 256 257 258 259... 423 424 425
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу |
