Модифицирование и легирование поверхности лазерными, ионными и электронными пучками
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо
Если Вы являетесь автором данной книги и её распространение ущемляет Ваши авторские права или если Вы хотите внести изменения в данный документ или опубликовать новую книгу свяжитесь с нами по по .
Страницы: 1 2 3... 244 245 246 247 248 249 250... 423 424 425
|
|
|
|
о 100 200 Odntji/aeMaR поВерхность О WO 200 а) Odng^oeMOfl поверхность и □ X а ? х^к.^""х ^ xV V h,HM □ / X 2 хх ^ Xхх ^X X X X Рис. 8.16. Распределение по глубине h радиационно-стимулированных пор (/) и выделений герма^ ния (2) в сплаве А1 — 0,75% Ge, облученном ионами алюминия энергией 100 кэВ {53]. Максимальная концентрация радиационных дефектов составляла 18 (а) и 45 (б) смещений на атом при объемной температуре I60X. Поры и выделения генерируются в богатом дефектами слое Ge вблизи пика наруше-о ний на глубине 750 А. При большей дозе выделения германия перераспределяются, а поры остаются положенного вблизи пика нарушений. На этой же глубине образуется слой выделений германия (рис. 8.16). Поскольку для роста выделений необходим избыток вакансий, их образование особенно интенсивно происходит в области, богатой дефектами [54]. Следовательно, можно ожидать появления низкодозовой микроструктуры. При больших дозах насьщенный порами слой оставался на том же месте, но выделения перераспределялись, как показано на рис. 8.16, б. Объяснение явлению удалось найти, измерив концентрационный профиль германия посредством распыления и масс-спектроскопии вторичных ионов (рис. 8.17). Было найдено, что при большей дозе в насыщенном дефектами слое происходит уменьшение содержания германия. В связи с многочисленными ограничениями метода снятия слоев посредством распыления концентрация германия в глубоких слоях не может быть определена точно. Однако поскольку выделения германия растворимы, она должна быть ниже предела растворимости германия в алюминии, равном примерно 0,2% при температуре облучения. Уход германия из этого слоя вызывает увеличение его концентрации в глубоко расположенной области, как это показано на рис. 8.17. Поверхностный пик концентрации германия связан с несколькими обозначенными на рис. 8.16 большими выделениями. Их средний размер многократно превосходит средний объем включений вдали от поверхности. Увеличенный размер может быть следствием одновременного действия таких факторов, как рост включений в отсутствие напряжений и влияние на рост поверхностной диффузии. 246
Карта
|
|
|
|
|
|
|
|
Страницы: 1 2 3... 244 245 246 247 248 249 250... 423 424 425
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу |
