Модифицирование и легирование поверхности лазерными, ионными и электронными пучками
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо
Если Вы являетесь автором данной книги и её распространение ущемляет Ваши авторские права или если Вы хотите внести изменения в данный документ или опубликовать новую книгу свяжитесь с нами по по .
Страницы: 1 2 3... 232 233 234 235 236 237 238... 423 424 425
|
|
|
|
области или диффузионной длиной точечных дефектов (рис. 8.5, а). Длина пробега ионов в этом случае невелика {^200 А) и сопоставима со средней диффузионной длиной образующих точечных дефектов. В результате много дефектов выходит на поверхность и градиент их плотности велик. Заметим также, что максимум концентрации точечных дефектов находится глубже, чем средний проективный пробег ионов. Насыщенная дефектами зона также находится за областью радиационных повреждений. Соответствующие расчеты можно найти в работе [35], Если длина пробега велика в сравнении с диффузионной длиной то справедлива схема, приведенная на рис. 8.5, б. Типичные значения длины пробега для этого случая — несколько тысяч ангстрем. Очевидно, точечные дефекты возникают вдоль всего трека тяжелого иона и максимум скорости их образования находится на глубине, чуть меньшей длины пробега ионов. Профиль распределения дефектов представляет собой уширенный диффузией профиль радиационных повреждений. Исключение составляет часть профиля, примыкающая к поверхности (сток дефектов) и обедненная дефектами. Градиент плотности дефектов вблизи поверхности обычно выше, чем в конце трека ионов и перераспределение примесей выражено сильней. еао т/с Рис. 8.5. Схематическое изображение концентрационных профилей радиационных повреждений (/) и установившегося распределения подвижных точечных дефектов (2): а — случай низкоэнергетических ионов (пробег частиц меньше иля сравним с диффузионной длиной точечных дефектов); б ^случай ионов высокой энергии (наибольший градиент профиля дефектов находится на поверхности) Ряс. 8.6. Расчетная температурная зависимость потока вакансий через поверхность тонкой алюминиевой фольги при облучении. Максимальное значение потока соответствует температуре 475°С, при которой перераспределение примеси наибольшее 234
Карта
|
|
|
|
|
|
|
|
Страницы: 1 2 3... 232 233 234 235 236 237 238... 423 424 425
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу |
