Модифицирование и легирование поверхности лазерными, ионными и электронными пучками
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо
Если Вы являетесь автором данной книги и её распространение ущемляет Ваши авторские права или если Вы хотите внести изменения в данный документ или опубликовать новую книгу свяжитесь с нами по по .
Страницы: 1 2 3... 229 230 231 232 233 234 235... 423 424 425
|
|
|
|
там Гвинана и Киннея (1981 г.) на основе расчетов молекулярной динамики показано, что движение вакансий происходит при "охлаждении" каскадов. (Их расчеты учитывают также снижение числа точечных дефектов, сохраняющихся в кильватере области каскада.) Движение атомов, связанное с этим механизмом, добавляется к быстрому перемешиванию, вызванному баллистическим переносом. 8.2.2. Механизмы перераспределения Взаимодейстие точечных дефектов и примесных атомов дает последним возможность перемещаться, а при наличии градиента концентрации точечных дефектов (или, что тоже самое, при наличии потока точечных дефектов) вызывает перераспределение примесей. Можно выделить два предельных случая поведения: образование подвижных комплексов дефектов и примесных атомов и прямое быстротечное соударение. Рассмотрим эти предельные случаи по очереди. Следует помнить, что поведение любой реальной примеси будет находиться где-то между этими двумя предельными случаями. Перераспределение посредством подвижных комплексов. Если образование комплекса точечный дефект — примесный атом энергетически выгодно и если при температуре облучения образующийся комплекс подвижен, то перераспределение примесных атомов может происходить. Суммарный поток примесных атомов возникает благодаря высокой концентрации точечных дефектов. Будучи подвижным, возникший комплекс совершает случайные блуждания. Поскольку энергия связи конечна, комплекс в конечном итоге распадается. Если это происходит в области низкой концентрации точечных дефектов, у примесного атома будет мало шансов вновь стать подвижным при встрече с точечным дефектом. Таким образом, происходит перенос примесных атомов из областей высокой плотности дефектов в области с их низкой концентрацией. Пример такого процесса иллюстрируется рис. 8.3. Эксперимент заключался в протонном облучении при температуре 695°С кремния ионно-легированного фосфором. После облучения произошло обеднение фосфором области наибольшей концентрации точечных дефектов, расположенной в конце протонных треков. Атомы фосфора могут образовывать комплексы как с вакансиями [26, 27], так и с междоузельными атомами [28]. Много примеров подобного перераспределения в металлах приведено в готовящейся к публикации работе Репа. В металлах с кубической структурой междоузлия (большое количество этих дефектов образуется только при облучении) имеют структуру гантели. Одной из возможных форм комплекса междоузлие— примесь является смешанная гантель. Считается [15, 30], что такая форма характерна для примесей меньшего размера. Изучение молекулярной динамики структуры методом гантели не 231
Карта
|
|
|
|
|
|
|
|
Страницы: 1 2 3... 229 230 231 232 233 234 235... 423 424 425
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу |
