Модифицирование и легирование поверхности лазерными, ионными и электронными пучками
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо
Если Вы являетесь автором данной книги и её распространение ущемляет Ваши авторские права или если Вы хотите внести изменения в данный документ или опубликовать новую книгу свяжитесь с нами по по .
Страницы: 1 2 3... 227 228 229 230 231 232 233... 423 424 425
|
|
|
|
Теоретический анализ перемешивания в разбавленных сплавах выполнен в [17]. Концентрированные сплавы. В большинстве концентрированных сплавов взаимодействие примесей и дефектов не может быть описано в рамках парных взаимодействий, как это делалось при рассмотрении разбавленных сплавов. Такие процессы, как ловуш-кообразование на примесных атомах и образование упорядоченных областей, могут играть большую роль в определении коэффициента диффузии. В многофазных системах состав объема материала и, следовательно, коэффициент диффузии отчасти определяется влиянием облучения на стабильность фаз. Таким образом, кинетика изменений, происходяи;их в концентрированных смесях, весьма сложна. На сегодня имеются лишь несколько работ, посвяш^енных специально исследованию радиационно-стимулированной диффузии в концентрированных сплавах. Например, Пиллер изучал диффузию четвертой примеси в тройных сплавах Fe—Сг—Ni. Большинство данных по радиационно-стимулированной диффузии получены при исследовании упорядочения или перераспределения в концентрированных сплавах [18—20]. В ближайшее время выйдут из печати работы Хортона и Марвика, а также Вагнера Репа и Видерзиха, посвященные этому явлению. Баллистическое перемешивание. Еще одно важное явление при ионной имплантации в условиях низкой или умеренной температуры— перемешивание за счет смещений, или каскадное смешивание, подробно описанное в гл. 7. Первая оценка для коэффициента диффузии, обусловленного баллистическим перемешиванием, была дана Андерсеном [21]: Д.ерем = 0,067(/^^/7ч^)ф(^1 ,(8.6) где Fd — энергия, рассеянная в упругих столкновениях; Ф — поток ионов; r^/Ed — мера эффективности перемешивания. Авторы [22] нашли, что для тонких меток платины в кремнии эта константа равна 70А/эВ, а для меток кремния в платине — 200 А/эВ. Если воспользоваться опубликованными данными для Ed получим, что значение существенно превышает 100 А^, т. е. величину, предложенную Андерсеном. На рис. 8.1 приведены оценки коэффициента диффузии, обусловленного каскадным перемешиванием, для значений r^/Ed = 50 А^/эВ, а £^ = 40 эВ. Если исключить из рассмотрения область низких температур, то коэффициент диффузии, обусловленный перемешиванием, существенно меньше, чем связанный с радиационно-стимулированной диффузией. Термин "низкая температура" означает область температур, в которой диффузия радиационно-стимулированных точечных дефектов пренебрежимо мала. Точней его определение можно дать на основании знания энергии миграции вакансии Ev. В табл. 8.1 приведены значения £у, а также значения температуры Тгоо, при ко 229
Карта
|
|
|
|
|
|
|
|
Страницы: 1 2 3... 227 228 229 230 231 232 233... 423 424 425
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу |
