Модифицирование и легирование поверхности лазерными, ионными и электронными пучками
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо
Если Вы являетесь автором данной книги и её распространение ущемляет Ваши авторские права или если Вы хотите внести изменения в данный документ или опубликовать новую книгу свяжитесь с нами по по .
Страницы: 1 2 3... 224 225 226 227 228 229 230... 423 424 425
|
|
|
|
кой из двух механизмов потерь в уравнениях (8Л) и (8.2) является доминирующим. Если преобладают потери на фиксированных стоках (или любой другой процесс первого порядка), /)рад не зависит от температуры и пропорционален ионному потоку. Следовательно, диффузионные длины не зависят от потока ионов. При более низких температурах концентрация дефектов выше и определяющим механизмом потерь может стать рекомбинация, В этом случае коэффициент радиационно-стимулированной диффузии зависит от температуры и пропорционален корню квадратному из потока ионов, в принципе, разница в зависимости коэффициента диффузии от температуры и потока может быть использована для того, чтобы различить оба рассмотренных механизма потерь. Используя уравнения (8.1) и (8.2), легко показать, что фиксированные стоки дают основной вклад в уменьшение плотности дефектов, если их концентрация выше критического значения определяемого соотношением k'^^[B:na^2^]m(8.4) где а — длина ребра элементарной ячейки. Например, для алюминия при температуре 100°С и скорости зарождения дефектов 10~^ смещений на атом в секунду границы зерен определяют уменьшение концентрации дефектов, если размер зерна равен ^100 А. Кривые, приведенные на рис. 8.1, соответствуют идеализирован-. ному случаю, который может быть реализован лишь в специальном эксперименте, к усложняющим факторам, встречающимся в более реалистичных случаях, следует отнести захват точечных дефектов примесными атомами в сплаве, отсутствие равновесного состояния при низкотемпературном облучении (оба фактора обсуждаются в следующем параграфе), кластерообразование точечных дефектов, временную или температурную зависимость концентрации стоков. Температурная зависимость часто возникает, если поток ионов порождает значительное количество стоков дефектов, плотность которых зависит от температуры вследствие их возникновения и отжига при облучении. Следовательно, температурная зависимость коэффициента диффузии в противоречии с упрощенной теорией, существует даже при доминирующем влиянии стоков дефектов. Диффузия в сплавах. Поскольку модификация поверхностей ионными пучками часто связана с образованием сплавов или применяется для обработки сплавов, необходимо уметь достаточно точно рассчитывать коэффициент диффузии примеси при облучении, К сожалению, в сплавах возникает ряд процессов, усложняющих изложенную выше картину. Некоторые из них рассмотрены ниже. Важным примером служит взаимодейстие дефектов с примесными атомами. В общем случае это взаимодействие приводит к снижению коэффициента радиационно-стимулированной диффузии в 226
Карта
|
|
|
|
|
|
|
|
Страницы: 1 2 3... 224 225 226 227 228 229 230... 423 424 425
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу |
