Модифицирование и легирование поверхности лазерными, ионными и электронными пучками
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо
Если Вы являетесь автором данной книги и её распространение ущемляет Ваши авторские права или если Вы хотите внести изменения в данный документ или опубликовать новую книгу свяжитесь с нами по по .
Страницы: 1 2 3... 218 219 220 221 222 223 224... 423 424 425
|
|
|
|
для проявления заметного диффузионного перемешивания в пределах объема пика, поскольку даже для горячего расплава, величина (Ditg)^^^ не превышает 1...10А. Рассматривая ускорение распыления (см. табл. 7.6), мы оценивали площадь поверхности пика делением начальной скорости потерь энергии {dEjdx) падающего пучка ионов на энтальпию плавления АЯ. Значения АЯ содержат интегральную теплоемкость в пределах от температуры подложки до такой температуры, при которой давление становится примерно равным одной атмосфере. Для ионных пучков с МэВ-ными энергиями, когда основная компонента df'/djc отражает электронные возбуждения, оценка (гтах) будет слишком завышенной, если нет какого-либо механизма превращения электронных возбуждений в термическое движение быстрее, чем за время tq. в случае ксенона (и других мишений из инертных газов), оценка дает величину ^^^^10^^° с, это время, вероятно, достаточно велико для установления электронно-фононного равновесия, примерно равного 10^^^ с. Интересно заметить, что только мишени из инертных газов являются материалами, для которых выход испарения (Утерм), рассчитанный с использованием понятия пиков, сравним по величине с наблюдаемым выходом распыления. Для всех других случаев в табл. 7. 6 Утерм слишком мало и термические градиенты слишком велики для того, чтобы можно было с определенностью использовать понятие простой термодиффузии. Тем не менее экспериментальные значения коэффициентов распыления на несколько порядков больше, чем значения Укасю предсказанные линейной теорией каскадов столкновений, что указывает на доминирующее влияние в каждом случае эффектов различных пиков. Следует отметить, что использование простой модели термических пиков предсказывает: выход распыления ксенона должен быть, как минимум, в 1000 раз больше, чем для льда или uf4, однако измеренные значения У почти идентичны (см, табл. 7.6). Вообще говоря, для последних двух материалов должен иметь место какой-то отличный, более эффективный с энергетической точки зрения механизм. Возможно, важную роль играет механизм кулоновского "взрыва", обусловленный высокой плотностью ионизации вдоль траектории налетающего иона [27]. Для металлических мишений, таких, как золото, существуют сложности в выборе подходящих значений коэффициента температуропроводности D. Так как время tq слишком мало для установления равновесного состояния при электронно-фононном взаимодействии, и v(E) в этом случае является доминирующим процессом выделения энергии, вероятно, нужно заменить значения коэффициента температуропроводности для металлов 0,7 см^/с, на величину более характерную для изоляторов; г, е. Di:^ 10-^ cmVc Оценка показывает, что такая замена значительно увеличит вклад энергетических пиков в выход распыления (до 1 атом/ион), но экспериментально определенное значение Уэксп на три порядка больше. 220
Карта
|
|
|
|
|
|
|
|
Страницы: 1 2 3... 218 219 220 221 222 223 224... 423 424 425
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу |
