Модифицирование и легирование поверхности лазерными, ионными и электронными пучками
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо
Если Вы являетесь автором данной книги и её распространение ущемляет Ваши авторские права или если Вы хотите внести изменения в данный документ или опубликовать новую книгу свяжитесь с нами по по .
Страницы: 1 2 3... 217 218 219 220 221 222 223... 423 424 425
|
|
|
|
7.5. Нелинейные параметры каскадов повреждений для ионов ВІ2+ Параметр Si Ge Параметр Si Ge Энергия пучка ионов, кэВ х{Е)1Е ДЯ, эВ/атом D, см2/с 30 0,8 OJ 0,23 ЗО 0,8 0,6 0,15 ^"max, A dTldx, K/A 56 0,4 30 65 0,7 20 ^ эпитакс 26 33 7.6. Нелинейные параметры каскадов распыления Мишень Аи Хе Н2О (лед) UF4 Энергия пучка ^0 КэВ 1 МэВ 1 МэВ 4 МэВ Ионы 5Ьэ+ Не+ Не+ v(E)IE 0,8 0,005 0,003 0,004 ДЯ, эВ/атом 11 0,06 0.2 2.0 /), см^/с 0,7 '0,002 0,01 0,01 /max, А 80 100 30 30 0,3 150 2 А dr/dx, К/А 100 1 10 200 Уьаск, атомов на ион 40 0,02 0,00\1 0,01 Ктерм {^7ir4q) атомов на 0,01 ^0 0,01 0,006 ион і^зксп, атомов на ион 600 (10 10 4 В случае увеличения повреждений при имплантации в полупроводники (см. табл. 7.5) можно определить разумный верхний предел размеров "расплавленного пика", разделив общий возможный верхний предел энергии отдачи v(£') на энтальпию плавления АЯ (эВ/атом). Отметим, что здесь АЯ включает в себя интегральную теплоемкость от температуры подложки до точки плавления. Полученный таким образом радиус пика (гтах) хорошо согласуется с размерами (Гэксп) аморс^ных зон, определенных с помощью электронной микроскопии [19]. Как для кремния, так и для германия, если для оценки используются стандартные данные по термодиффузии, значение времени охлаждения {tq), необходимого для уменьшения 9, в 2 раза меньше, чем Ю"^^ с. Это время, вероятно, слишком мало для установления электрон-фононного равновесия, но так как большая часть энергии затрачивается на атомное движение, то tq достаточно велико для установления случайного (похожего на жидкость) распределения атомов. Тем не менее, необходимо подчеркнуть, что 10~^^ с — слишком короткий промежуток времени 21^
Карта
|
|
|
|
|
|
|
|
Страницы: 1 2 3... 217 218 219 220 221 222 223... 423 424 425
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу |
