Модифицирование и легирование поверхности лазерными, ионными и электронными пучками
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо
Если Вы являетесь автором данной книги и её распространение ущемляет Ваши авторские права или если Вы хотите внести изменения в данный документ или опубликовать новую книгу свяжитесь с нами по по .
Страницы: 1 2 3... 214 215 216 217 218 219 220... 423 424 425
|
|
|
|
жено также, что усиление распыления при 7^900 К сохраняется даже, когда ионный пучок выключен, указывая на то, что, по крайней мере, для серебра аналогичная температурная зависимость не связана с каскадами столкновений или термическими пиками, а просто начинается заметное термическое испарение с целой поверхности мишени. Значения пороговых температур на рис. 7.14 показывают, что давления испарения всех металлов превышают 10-'-Торр (133-10""^ Па), поэтому непрерывное термическое испарение может быть доминирующим процессом во всех исследованных случаях [22]. 7.5,3. Эрозия замороженных газов ионами высокой энергии Третий и последний пример эффектов пиков включает совершенно различный g-режим, а именно: распыление замороженных газов легкими ионами мегаэлектрон-вольтных (МэВ-ных) энергий, такими, как Ше+. В этом случае отношение v{E)/[ціЕ)] очень мало, --Ю"^ (см, рис. 7.2). Поэтому выход распыления, обусловленный процессами атомных столкновений, обычно незначителен, что можно видеть, экстраполируя кривые на рис. 7.15. В металлах энергия, запасенная при электронных возбуждениях [г}(^)], быстро рассеивается в решетке и поэтому не дает заметного вклада ни в какие пики. Однако в некоторых неметаллических материалах, таких, как замороженные газы, лед и uf4, наблюдался очень большой выход распыления Y (табл. 7,4), который обычно увеличивался примерно как квадрат общей плотности запасенной энергии. Предположительно, что в этих диэлектриках энергия [щ (£)] не так быстро рассеивается, как в металлах, и, вероятно, может вносить вклад в некоторые виды энергетических пиков. в случае инертных газов (ксенон, криптон и аргон) наблюдаемый выход распыления сильно зависит от толщины слоя замороженного газа и также зависит от величины теплопроводности подложки (рис. 7.16). Такое поведение интерпретируется в работе [25], как сильное подтверждение того, что в этом случае распыление обусловлено термическими пиками. Наблюдаемое возрастание выхода распыления ксенона с ростом температуры от 25 до 40 К (см. рис. 7.16) слишком велико, чтобы его можно было объяснить влиянием пи 70^ 10^ Рис. 7.15. Зависимость выхода распыления У (число атомов на один ион) от энергии ионов Еион при облучении коррозионно-стойкой стали ионами с низкими атомными номерами Z 2І6
Карта
|
|
|
|
|
|
|
|
Страницы: 1 2 3... 214 215 216 217 218 219 220... 423 424 425
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу |
