Модифицирование и легирование поверхности лазерными, ионными и электронными пучками
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо
Если Вы являетесь автором данной книги и её распространение ущемляет Ваши авторские права или если Вы хотите внести изменения в данный документ или опубликовать новую книгу свяжитесь с нами по по .
Страницы: 1 2 3... 213 214 215 216 217 218 219... 423 424 425
|
|
|
|
Одной из наиболее непонятных и дискуссионных ранних работ по возможным эффектам пиков было исследование температурной зависимости выхода распыления различных металлов [22]. Для каждого металла при достижении температуры плавления автор наблюдал резкое (экспоненциальное) увеличение выхода распыления (рис. 7.14), которое связывалось с инициированными пиками процессами испарения. Увеличение температуры мишени должно несколько уменьшить величину (энергия/атом), необходимую для достижения высоких значений 0s, следовательно размеры пика и выход распыления с ростом температуры мишени будут возрастать. Конечно, наблюдаемые автором [22] температурные эффекты слишком велики и слишком неожиданны, чтобы их можно было объяснить таким простым механизмом. Суммарная по всему температурному интервалу теплоемкость (см. рис. 7,14) так мала по сравнению со скрытой теплотой плавления и испарения, что можно ожидать увеличения термической компоненты распыления только на несколько процентов. Более того, при температуре и размерах пиков, предложенных в [22], экспериментально наблюдаемые величины выхода на много порядков больше, чем максимально возможная скорость испарения пика. В работе [23] при исследовании температурной зависимости выхода распыления серебра низко-энергетичными ионами аргона и ксенона были получены кривые, почти идентичные кривым, представленным на рис. 7.14. Обнару Q.5 о В,%1п 13 213 т віз віз 1013 ік Рис. 7.13. Выход распыления y для серебра, золота и платины, бомбардируемых различными монои полиатомными ионами в зависимости от плотности запасенной на поверхности энергии ed (т. е, G^), полученный из расчетов по методу Монте-Карло (21] Рис. 7.14. Температурная (Т) зависимость общего выхода распыления (потери массы Коб) для различных металлических мишеней, бомбардируемых ионами ксенона энергией 45 кэВ и дозой 2,9-10*^ см"^ [22] 215
Карта
|
|
|
|
|
|
|
|
Страницы: 1 2 3... 213 214 215 216 217 218 219... 423 424 425
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу |
