Модифицирование и легирование поверхности лазерными, ионными и электронными пучками
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо
Если Вы являетесь автором данной книги и её распространение ущемляет Ваши авторские права или если Вы хотите внести изменения в данный документ или опубликовать новую книгу свяжитесь с нами по по .
Страницы: 1 2 3... 212 213 214 215 216 217 218... 423 424 425
|
|
|
|
кривой дает энергию, примерно равную теплоте плавления (0,7 эВ) для Si. Электронно микроскопические исследования [19] показали, что при высоких 9 (^ ^0,5 эВ/атом) каждый имплантированный ион образует аморфную зону, радиус которой прекрасно согласуется с радиусом, определенным из резерфордовского обратного рассеяния. Из этого следует, что каждый каскад высокой плотности вначале является расплавленной зоной, которая в последующем остывает достаточно быстро, чтобы остаться аморфной. В связи с этим следует заметить, что скорость затвердевания (обусловленная исключительно быстрым охлаждением малого объема каскада) имеет порядок 100 А за 10'^^ с, т. е. 10^... 10^ м/с. Обсуждавшаяся выше (см. гл. 3; 4) скорость эпитаксиального роста в экспериментах по импульсному и лазерному отжигу составляет только ^^5 м/с. Более того, имеются теоретические предпосылки, позволяющие полагать, что максимальная скорость эпитаксиального роста для кремния не превышает ^20 м/с. Следовательно, можно предположить, что очень быстрое охлаждение пика столкновений образует неэпитак-сиальные (аморфные) области в кремнии и германии. 125 ^(Е) Рис. 7.12. Наблюдаемое общее число Nd* смещенных атомов в каскаде в зависимости от V (Е) для кремния при 35 К, определенное методами POP и каналирования [7]. Штриховая линия Л^к. п предсказана линейной теорией каскадов и уравнением Кинчина — Пиза [см. уравнение (7.1)] 7.5.2. Распыление металлов Простая теория каскадов столкновений предсказывает, что выход распыления должен линейно увеличиваться с плотностью запасенной энергии (Os) в поверхностной области каскада. Рядом авторов отмечались заметные отклонения от линейной зависимости, вначале в серии экспериментов по сравнению действия бомбардировки диатомными и моноатомными ионами, имеющими одинаковые скорости, т. е. 50 кэВ Tet и 25 кэВ Те+ [20], а затем при исследовании распыления мишеней из Ag, Au и Pt [21] (рис, 7.13). При этом обнаружились две четкие области: при низких плотностях энергии экспериментальные данные хорошо согласуются с предсказанной теорией каскадов столкновений линейной зависимостью. Но при высоких значениях Оз для каждого материала обнаруживается резкий переход к более сильной зависимости, чем линейная. Этот переход указывает на усиление роли коллективных процессов, таких, как термические пики. 214
Карта
|
|
|
|
|
|
|
|
Страницы: 1 2 3... 212 213 214 215 216 217 218... 423 424 425
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу |
