Модифицирование и легирование поверхности лазерными, ионными и электронными пучками
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо
Если Вы являетесь автором данной книги и её распространение ущемляет Ваши авторские права или если Вы хотите внести изменения в данный документ или опубликовать новую книгу свяжитесь с нами по по .
Страницы: 1 2 3... 210 211 212 213 214 215 216... 423 424 425
|
|
|
|
Унорн to as 5кэЬ J ^ 1 и 1 ? 2 10 m /50а:55 Аг SO 100 150 к.А Рис. 7 10 Предсказанный частичный выход распыления для помеченного слоя^ о расположенного на глубине 200 А (см рис 7 9) [14] Jt —глубина, yj^jjpjj — нормализованный выход Рис. 7 И Схематическое представление каскадного перемешивания на внутренней границе в зависимости от общей дозы ионов аргона Аг+ на 1 см^ энергией 150 кэВ при различных положениях поверхности (в каждом случае шкала глубин приводилась к исходной шкале введением поправки на распыление; экспериментально это можно наблюдать путем сравнения с глубоколежащим, ненарушенным помеченным слоем [14]) д —ф=0, б —ф=101^; е —ф=101^ г —ф=2 Ю'^; 5 —ф"5 10'^ см-2 бины показано на рис. 7.10. Отметим, что, хотя пиковое значение располагается на глубине, меньше начальной, равной 200 А, общая средняя глубина почти не изменяется в результате каскадного перемешивания, Ионно-лучевое перемешивание, с другой стороны, требует намного большей энергии ионных пучков, при этом пробеги значительно больше, чем глубина залегания границы, на которой наблюдается перемешивание. В таких случаях баллистическое перемешивание сдвигает положение границы в сторону больших глубин заметнее, чем только при распылении (рис. 7.11). Заметные нелинейные эффекты при дозах, используемых при ионно-лучевом перемешивании, наблюдались в работе [18] при бомбардировке молекулярными и ионными пучками слоев платины толщиной 30 А на кремнии. Используя пучки As+, As 2 , Asf при постоянных дозе ионов (5-10^^ см~2) и скорости (120 кэВ/атом), авторы обнаружили заметное увеличение перемешивания с ростом числа атомов в молекулярном ионе, что свидетельствует о непригодности линейной модели каскадов столкновений для адекватного описания перемешивания в каскадах с высокими значениями 0. В связи с этим следует заметить, что пучки ионов ксенона Хе+ энергией 200 ,400 кэВ (обычные для экспериментов по ионно-лучевому перемешиванию, обсуждаемых в гл 9) приводят к значениям 0, сравнимым с полученными ионами As? энергией 240 кэВ [18]. При дозах, применяемых в ионно-лучевом перемешивании, эффекты 212
Карта
|
|
|
|
|
|
|
|
Страницы: 1 2 3... 210 211 212 213 214 215 216... 423 424 425
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу |
