Модифицирование и легирование поверхности лазерными, ионными и электронными пучками
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо
Если Вы являетесь автором данной книги и её распространение ущемляет Ваши авторские права или если Вы хотите внести изменения в данный документ или опубликовать новую книгу свяжитесь с нами по по .
Страницы: 1 2 3... 208 209 210 211 212 213 214... 423 424 425
|
|
|
|
сы, обусловленные высокой концентрацией точечных дефектов, возникших в объеме каскада. Эти эффекты радиационно стимулированной диффузии сильно зависят от таких факторов, как температура мишени и похок налетающих частиц. Они будут обсуждаться в гл. 8 и 10. При высоких значениях 0, достаточных для образования заметных энергетических пиков, можно также предположить, что в пределах объема горячих пиков происходит быстрое диффузионное перемешивание. Конечно, скорость последующего охлаждения обычно столь высок^а, что в индивидуальном каскаде диффузионная длина (Dit)^^^ Не будет превышать нескольких ангстрем, даже если объем пика поліностью расплавлен. 7.4.2. Режим перекрываю^щихся каскадов Выше рассмотрено перемешивание только в режиме отдельного каскада. Естеств^енно, что дозы, используемые при ионно-луче-вом перемешивании (гл. 9) и распылении (гл. 10) лежат в области пер^екрывающихся к.аскадов (см. рис. 7.1). Даже при дозе ионов 10 см-2, g импланірированной области имеется как минимум 10^ последователь,ных перекрывающихся каскадов и в этом случае лавинными эфф,ектами каскадного перемешивания или псев-дорасплавленных пинков пренебрегать нельзя. В работе [И] были получены простые с*оотношения, показывающие, что эффективное уширение (Dit)^/^ Р^ізкой межфазной границы, обусловленное каскадным перемешиванием, увеличивается, примерно как корень квадратный из дозы облучения. Рядом авторов прроведены интенсивные теоретические исследования параметров Ксдскадного перемешивания при типичных условиях распыления и и^онно-лучевого перемешивания [12—17]. Ниже кратко изложены осьновные положения, вытекающие из этих работ. Поскольку все атомы мишени в пределах пробега иона участвуют в каскадном пере^мешивании, этот процесс можно представить как движение "марькированных" атомов относительно соседних атомов матрицы, в Р)езультате чего может изменяться расширение пробегов. Более того)^ при достаточно высоких дозах, приводящих к значительным смеиц;ениям, простые расчеты каскадного перемешивания показывают, чі^о возможно появление флюктуации плотности мишени. В результатне более высокой вероятности образования выбитых атомов в центрре каскада по сравнению с периферийными областями будет наб-ілюдаться "разбавление" концентрации атомов мишени на глубинах,^ где dv{E)/dx имеет максимальное значение, и соответственно уве^личение плотности на меньших и больших глубинах, рис. 7.8. В результате расгпыления плотность мишени вблизи поверхности уменьшается, а н^а глубине проецированного пробега за счет имплантированных аатомов увеличивается. Эффекты флуктуации плотности весьма велтики и для получения разумной шкалы глубин 210
Карта
|
|
|
|
|
|
|
|
Страницы: 1 2 3... 208 209 210 211 212 213 214... 423 424 425
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу |
