Модифицирование и легирование поверхности лазерными, ионными и электронными пучками
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо
Если Вы являетесь автором данной книги и её распространение ущемляет Ваши авторские права или если Вы хотите внести изменения в данный документ или опубликовать новую книгу свяжитесь с нами по по .
Страницы: 1 2 3... 207 208 209 210 211 212 213... 423 424 425
|
|
|
|
Рис. 7.7. Зависимость начальной плотности запасенной энергии 00 от энергии ионов Е для серебра, бомбардируемого ионами Те+; для режимов т~1/2 и т^І/З время распространения каскада ^каск (см. подпись к рис. 7.1); tq — время, необходимое для уменьшения 00 до половины начального значения (8] Так как значения Zi и Z2 близки между собой, для оценки 9 можно использовать до'^'^^г статочно простые соображения, например, для степенной зависимости т=1/3, пробег иона (г/см^) слабо зависит только от Z (R^Z'^^)^ тогда результирующее выражение 70-^3 для 9 прямо пропорционально (p^Z'^^/E) где р —плотность мишени (г/см^). Очевидность сильной зависимости О от плотности мишени хорошо следует из данных табл. 7.3, Итак, мы обсудили некоторые проблемы оценки 9 как функции различных экспериментальных параметров и увидели, что при соответствующих условиях (низкие £, высокие Zi и Z2) значения 9, сильно превышающие I...2 эВ/атом, могут достигаться в центральной части каскада столкновений. W7 во ЮО 200 W Е,кзВ 7а, Ионно-лучевое перемешивание В каждом каскаде столкновений запасенная энергия отдачи у(е) идет на образование большого числа смещенных атомов. Процесс смещений, обусловленный движением атомов отдачи, называется баллистическим или каскадным перемешиванием. 7.4.1. Режим индивидуальных каскадов В пределах отдельного каскада среднее расстояние, на которое смещаются атомы, всегда невелико. Андерсен [10] показал, что каждая пара Френкеля разделена в среднем расстоянием r^6.,. 10 А, следовательно, поскольку отношение числа смещенных атомов [уравнение (7.1)] к общему числу атомов Nv в центральной части каскада намного меньше единицы, среднее расстояние, на которое смещаются атомы в результате баллистического перемешивания в отдельном каскаде (т. е. rot^^d/Nv), пренебрежимо мало. Следует отметить, что в ходе развития каскада вдоль следа каждого выбитого атома образуется зона, обогащенная вакансиями, а по периметру каждого субкаскада образуется зона, обогащенная межузель-ными атомами. Следовательно, при образовании радиационных дефектов перенос массы, достаточный для появления кластеров, таких, как вакансионные или межузельные петли, может происходить в пределах одиночного каскада. И после того, как закончилось распространение каскада, возможны заметные диффузионные процес 209
Карта
|
|
|
|
|
|
|
|
Страницы: 1 2 3... 207 208 209 210 211 212 213... 423 424 425
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу |
