Модифицирование и легирование поверхности лазерными, ионными и электронными пучками
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо
Если Вы являетесь автором данной книги и её распространение ущемляет Ваши авторские права или если Вы хотите внести изменения в данный документ или опубликовать новую книгу свяжитесь с нами по по .
Страницы: 1 2 3... 18 19 20 21 22 23 24... 423 424 425
|
|
|
|
Рис. 1.8 Светлопольное электронно-микроскопическое изображение структуры субкаскадов, образуемых в каскадах соударений при имплантации в кремний пионов висмута энергией 118 кэВ [5] лены контрастом, возникающим в зонах расположения дефектов в каждом каскаде соударений. Считается, что области разрушений обладают аморфным строением, причем каждый падающий ион создает аморфную область диаметром —100 А. При имплантации ионов висмута запасенная энергия достаточно велика для развития субкаскадов. Ї.5.2. Распыление и массоперенос В тех случаях, когда падающая частица теряет энергию, близкую к поверхностной энергии твердого тела, поверхностные атомы могут распыляться. Этот вывод важен для обсуждаемых в настоящей книге энергий (например, имплантация ионов хрома энергией 50 кэВ в железо), поскольку каждый налетающий атом может выбить из поверхностного слоя более 10 атомов. При бомбардировке поверхности потоком частиц может произойти сильное изменение ее строения. Характерным является образование поверхностных конусов или фасеток, размер которых на порядки превосходит проективный пробег частиц. При облучении монокристаллов или отдельных зерен поликристаллического материала они обладают весьма однородным строением как в смысле формы, так и в смысле расстояния между отдельными элементами рельефа. Поэтому поверхностные структуры обычно объясняют с учетом влияния не
Карта
|
|
|
|
|
|
|
|
Страницы: 1 2 3... 18 19 20 21 22 23 24... 423 424 425
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу |
