Модифицирование и легирование поверхности лазерными, ионными и электронными пучками
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо
Если Вы являетесь автором данной книги и её распространение ущемляет Ваши авторские права или если Вы хотите внести изменения в данный документ или опубликовать новую книгу свяжитесь с нами по по .
Страницы: 1 2 3... 206 207 208 209 210 211 212... 423 424 425
|
|
|
|
0,1 т 45 / Ю2 5 Рис 7 5 Корректирующий фактор бкорр (т е у/?^^^) одномерных каскадов в зависимости от отношения масс m^imi Штриховая кривая получена аналитически Зигмундом, точки — по методу Монте-Карло [7J о Рис 7 6 Зависимость Сз {эВ кэВ) от Мх и м2 [8] Принимая во внимание сказанное и используя для упрощения вычислений степенную аппроксимацию потенциала Томаса—Ферми, Зигмунт [8] и Винтерборн [9] рассчитали удобные таблицы и диаграммы, пользуясь которыми можно определить величину 6 (и другие параметры каскада) каждого отдельного каскада для всех комбинаций Zi, Z2 и Е. Например, для т=1/3 степенной аппроксимации (є0,2) в работе (8] показано, что Q=G^N^/E^ где N —атомная плотность мишени (атом/А^); £* —энергия налетающих ионов (кэВ); Оз зависит только от Mi и М2 (рис 76). Для т=1/2 (0,285) е сильнее зависит от т е. Q^G2N^/E^ В табл. 7 3 приведен ряд значений Э, иллюстрирующий ее зависимость от плотности, Zi, и от энергии ионов Е. Для иллюстрации сильной зависимости 0 от £ Зигмунт [8] взял случай среднего отношения масс (имплантация ионов теллура в серебро) и рассчитал среднюю плотность запасенной энергии как функцию энергии налетающего иона (рис. 7.7). Там же приведены результаты оценки последующей скорости охлаждения, основанные на кинетической газовой модели высокого давления для оценки соответствующей величины теплопроводности в таких "горячих" короткоживущих пиках. 7.3. Зависимость 0 от энергии, плотности и атомного номера Е. кэБ 2i G, эВ/атом 1 кэВ Z2 P, G, эВ/'атом 100 Si Si 0,001 10 Au Au 19,3 25,000 10 Si Si 2,5 од 00 10 Au Bi 9.8 6,000 10 Au Si — 1,000 208
Карта
|
|
|
|
|
|
|
|
Страницы: 1 2 3... 206 207 208 209 210 211 212... 423 424 425
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу |
