Модифицирование и легирование поверхности лазерными, ионными и электронными пучками
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо
Если Вы являетесь автором данной книги и её распространение ущемляет Ваши авторские права или если Вы хотите внести изменения в данный документ или опубликовать новую книгу свяжитесь с нами по по .
Страницы: 1 2 3... 205 206 207 208 209 210 211... 423 424 425
|
|
|
|
Рис. 7.4. Соотношение между размерами отдельного каскада (расчет по методу Монте-Карло) и средним распределением, полученным из транспортного уравнения (7]. Эллипсы представляют собой контур V (£"), равный 10% V (£')max. Траектория налетающего иона обозначена сплошной линией, а атомы, получившие энергию, большую, чем Ed^ обозначены "+": л-20 кэВ, ВІ +^Si; 6-20 кэВ. N+-31 субкаскаде будет значительно больше, чем рассчитанная из данных по объему большого каскада v{£). Величина корректируюш;его фактора для объема Vr была оценена Валкером и Томпсоном [7] как функция отношения масс, и их результаты для кремния и германия приведены на рис. 7.5. Для случая имплантации висмута в кремний (см. рис. 7.4) М2/Жі = 0,13, соответствующее уменьшение объема (бкор)^ —0,7, но для ионов азота, также имплантированных в кремний, соответствующее значение (бкор)^—100, Ясно, что для легких ионов рассчитанное значение плотности запасенной энергии 9 в каждом каскаде может за счет этого эффекта возрасти во много раз, В этих случаях возможны также значительные колебания величины 9 в разных областях каскада, т. е. субкаскадах. 207
Карта
|
|
|
|
|
|
|
|
Страницы: 1 2 3... 205 206 207 208 209 210 211... 423 424 425
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу |
