Модифицирование и легирование поверхности лазерными, ионными и электронными пучками
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо
Если Вы являетесь автором данной книги и её распространение ущемляет Ваши авторские права или если Вы хотите внести изменения в данный документ или опубликовать новую книгу свяжитесь с нами по по .
Страницы: 1 2 3... 204 205 206 207 208 209 210... 423 424 425
|
|
|
|
woo 1500 6) 2000 hA Рис. 7.3. Распределения запасенной энергии V (£), полученные аналитическим методом (/) и методом Монте-Карло (2) 17]. Большая разность между глубинами /і (а и б) указывает на то, что более тяжелые ионы (Те"'') приводят к намного большим значениям 9 в каскаде, чем ионы N+: а —100 каскадов, Т!"^ —Ge 80 кэВ, б — 200 каскадов NкэВ ставляет интерес определение распределения смещенных атомов в каскаде, такие расчеты требуют дополнительных предположений, касающихся пороговой энергии смещения Ed и вероятности последующей рекомбинации вакансий и межузельных атомов, образующихся в каскаде. При расчетах (метод Кинчина — Пиза) обычна предполагают, что смещаются только те атомы, которые получают энергию, ббльпіую, чем Ed. Такое предположение приводит к довольно простому соотношению [6] между v(£) и числом смещений внутри каскада 0,4v (Е) Ed (7Л) Конечно, в рамках концепций энергетических пиков интерес представляет главным образом распределение v(£') по глубине, и поэтому можно избежать этих усложнений. Оценивая соответствующую величину 0 для отдельных каскадов^ очень важяо различать среднюю глубину распределения v{E), полученную для большого числа каскадов, как показано на рис. 7.3,. и распределение в пределах отдельного каскада. Наилучший способ определения последней величины — моделирование методов Монте-Карло. В качестве примера на рис. 7.4 приведены данные, включающие для сравнения усредненные распределения. Когда налетающий ион тяжелее, чем атом мишени (например, если ионы висмута имплантируются в кремний), энергия, выделенная в пределах отдельного субкаскада, довольно равномерно распределена по всему объему каскада. В этом случае усредненное по всему большому каскаду значение v(£') характеризует поведение отдельных каскадов. В другом случае отношение масс (например, когда в кремний имплантируются ионы азота) можно видеть, что отдельные субкаскады занимают очень малую часть соответствующего объема v(£') и, следовательно, величина 6 в каждом отдельном 206
Карта
|
|
|
|
|
|
|
|
Страницы: 1 2 3... 204 205 206 207 208 209 210... 423 424 425
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу |