Модифицирование и легирование поверхности лазерными, ионными и электронными пучками
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо
Если Вы являетесь автором данной книги и её распространение ущемляет Ваши авторские права или если Вы хотите внести изменения в данный документ или опубликовать новую книгу свяжитесь с нами по по .
Страницы: 1 2 3... 203 204 205 206 207 208 209... 423 424 425
|
|
|
|
7.2. Типичные случаи имплантации с энергией ионов 500 кэВ Z2 k є Z2 k е Режим ионной имплантации Режим ядерного микроанализа (Zi4, г10) Bi Au 0,17 0,2 Не Аи 3,0 ЗО Bi Si ОДІ 0,5 Не С 0.2 500 Р Si 0,7 9,0 атомы и "горячие" электроны. Отметим, что Se даже при очень низких значениях энергии не бывает малой по сравнению с 5„. Из рис. 7.2 следует, что Se в отличие от Sn нельзя описать одной универсальной кривой в единицах энергии є: при низких є Se линейно возрастает с ростом е^^: при Zi^Z2 наклон кривой k располагается в узком интервале й = 0,14±0,03. Для иллюстрации приведем значения є п k при типичных комбинациях ион-мишень, когда энергия ионов равна 500 кэВ (табл. 7.2). 7.3. Плотность запасенной энергии 8 Плотность энерговклада — запасенной энергии 9 — в области каждого отдельного каскада является сильной функцией Zi, Z2, Е и и плотности материала мишени. Она может изменяться, как минимум, на четыре порядка: от 10''^ до 10 эВ/атом. Количественные оценки 9 можно получить, используя теорию торможения налетающих ионов Линдхарда и учитывая атомы отдачи. При этом удобно разделять механизмы потери энергии на два вида [3]: ядерные потери (в том числе и атомы отдачи) v(£') и потери на электронное возбуждение Г] (£); v(£')+г|(£')—£ион. Отметим, что хотя v(£) и Sn — тесно связанные величины, V (Я) всегда на 20...30% меньше, чем интегральная тормозная способность ( .Sn) первичного иона, это различие возрастает, так как быстрые атомы отдачи, образующиеся вдоль пути налетающего иона, теряют свою кинетическую энергию на электронное возбуждение в последующих столкновениях. ВйН-тербон и др. [4] предложили аналитический метод, базирующийся на транспортном уравнении, позволяющий с достаточной точностью предсказать основные размеры (протяженность, поперечный и продольный разбросы) каскадов столкновений; достаточно полные таблицы приведены в [5]. Можно также использовать метод Монте-Карло для моделирования отдельных каскадов столкновений и затем усреднить данные по несколько сотням каскадов. Рис. 7.3 свидетельствует об исключительном согласии между данными, полученными аналитическим методом и методом Монте* Карло, при этом с некоторой достоверностью можно предсказать средние размеры каскада столкновений. Во многих случаях пред 205
Карта
|
|
|
|
|
|
|
|
Страницы: 1 2 3... 203 204 205 206 207 208 209... 423 424 425
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу |
