Модифицирование и легирование поверхности лазерными, ионными и электронными пучками
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо
Если Вы являетесь автором данной книги и её распространение ущемляет Ваши авторские права или если Вы хотите внести изменения в данный документ или опубликовать новую книгу свяжитесь с нами по по .
Страницы: 1 2 3... 201 202 203 204 205 206 207... 423 424 425
|
|
|
|
рис, 7.1. Схема каскадов столкновений* д —режим отдельных (индивидуальных) каскадов {дозы ионов 10^ см-2); /^"100 А, ^д"10-'2 с; б — режим перекрывающихся каскадов (дозы ионов 10'=^ см-^): Бремя перекрытия ^пер^І с при /=1 мкА/см2; в— лами образуются каскады радиусом R = ==2 нм (20 А), тогда как типичное время закалки tq таких каскадов только несколько пикосекунд. Следовательно, в понятии "энергетических пиков" эффекты перекрытия каскадов пренебрежимо малы. Даже при исключительно высоких плотностях тока (например, 300 А/см^), получаемых на импульсном ионном источнике в Корнелле, характерное время пе ^е^^итта ?Се.Ч.Ъ. ^естаг^ът m^9^^m? больше, чем tqy и поэтому псрсд образован^ем следующего каскада плотность запасенной энергии рассеивается в объеме, значительно большем, чем размеры каскада. В более общем случае радиационных повреждений и ионно-лучевого перемешивания, когда процессы миграции точечных дефектов часто играют основную роль, эффекты перекрытия каскадов должны обязательно учитываться, за исключением случая малых доз ионов (10^^ см"^). На рис. 7.2 представлены основные процессы энергетических потерь (ядерная Sn и электронная Se тормозные способности в безразмерных единицах Томаса — Ферми) во всем интервале энергий ионной бомбардировки. По оси абсцисс отложена энергия є в го 20 V2 Рис. 7.2. Зависимость тормозной способности S (?т энергии (в безразмерных единицах) (2]: д — режим ионной имплантации; б — режим ядерного мнкрсанализа 203
Карта
|
|
|
|
|
|
|
|
Страницы: 1 2 3... 201 202 203 204 205 206 207... 423 424 425
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу |
