Модифицирование и легирование поверхности лазерными, ионными и электронными пучками
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо
Если Вы являетесь автором данной книги и её распространение ущемляет Ваши авторские права или если Вы хотите внести изменения в данный документ или опубликовать новую книгу свяжитесь с нами по по .
Страницы: 1 2 3... 199 200 201 202 203 204 205... 423 424 425
|
|
|
|
Глава 7. Эффекты каскадов столкновений и пиков Дж. Л. Девис, Исследовательская корпорация по атомной энергии, г. Чок-Ривер, провинция Онтарио, Канада По материалам: Дж. Боттигер, У. Литтмарк, В. Хофер 7.1. Введение Для типичных экспериментов по отжигу и легированию материалов с помощью лазерных импульсов или электронных пучков средняя плотность переданной энергии (соответствующая 1...2 Дж/см^ в импульсе и распределенная на глубину, превышающую h-^-?^0,5 мкм) 6=1...2 эВ/атом и время затвердевания расплавленной зоны ^д^10~^ с. Существуют, как минимум, три способа, с помощью которых ионные пучки могут быть использованы для достижения упоминаемых выше плотностей энергии и скоростей затвердевания (табл. 7.1). 1. К настоящему времени имеются (например, в Корнелле) высокоинтенсивные импульсные ионные источники, могущие давать энергию в несколько джоулей на квадратный сантиметр (для ионов Н+ или В+ при энергии 200 кэВ) в течение отдельного импульса продолжительностью т=10-'^ с. пробеги таких ионов меньше 1 мкм, и, следовательно, 0 и tq, как недавно было показано в работе [1], сравнимы с этими параметрами в случае лазерного отжига. 2. Альтернативный путь для достижения эквивалентных значений Q и tq был предложен Дж. Линдхардом в 1976 г. Он заключается в сканировании микропучком с интенсивностью, достаточной для достижения необходимого значения '9 за время одного прохода луча по поверхности. Пучок ионов SbJ с энергией 1 МэВ, сфокусированный в пятно диаметром 3 мкм, будет давать необходимую энергию 1...2 эВ/атом в интервале ^Ю"'' с. Следовательно, для достижения необходимого значения 0 достаточной будет скорость сканирования 30 м/с. К настоящему времени экспериментальных попыток проверить это предположение не предпринималось, хотя требуемые параметры пучка, вероятно, находятся в пределах современной микропучковой технологии. Некоторые группы исследователей использовали гораздо более низкие плотности энергии в сочетании с длительным (повторяющимся) сканированием для достижения самоотжига при имплантации, однако при этом реализуются условия отжига более близкие к лазерному отжигу непрерывным излучением. 201
Карта
|
|
|
|
|
|
|
|
Страницы: 1 2 3... 199 200 201 202 203 204 205... 423 424 425
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу |
