Модифицирование и легирование поверхности лазерными, ионными и электронными пучками
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо
Если Вы являетесь автором данной книги и её распространение ущемляет Ваши авторские права или если Вы хотите внести изменения в данный документ или опубликовать новую книгу свяжитесь с нами по по .
Страницы: 1 2 3... 182 183 184 185 186 187 188... 423 424 425
|
|
|
|
них параметров материала, но и от условий лазерного воздействия и температуры подложки. Детальное обсуждение этого вопроса приведено в гл. 2. 6.3, Обсуждение процессов с позиций понятия внутренней энергии в порядке обсуждения различных метастабильных состояний введем простую модель. Это так называемое правило ступенчатых переходов Оствальда [18], которое использовалось для описания ранних результатов исследования закалки из газовой фазы fI9J. Правило ступенчатых переходов Оствальда состоит в следующем. После конденсации пара до достижения равновесной фазы конденсат должен пройти через все возможные высокотемпературные фазы. Это схематически показано на рис. 6.5, на котором внутренняя энергия системы (исключая любую температурную зависимость) отложена как функаия температуры. Начиная с высоких значений внутренней энергии паровой фазы при высоких температурах, внутренняя энергия уменьшается в процессе медленного охлаждения при прохождении через жидкую фазу и затем различные высокотемпературные фазы (ВТ I, ВТ И) вплоть до достижения равновесной фазы. Следовательно, быстро охлаждая, можно зафиксировать некоторые из этих промежуточных фаз прн низких температурах. Например, экспериментальные результаты наводят на мысль о том, что аморфные фазы, полученные закалкой из газовой фазы на подложки при 4 К, могут быть описаны как замороженные жидкости. Жидкая фаза — это высокотемпературная фаза, следующая за паровой фазой. Чтобы более четко демонстрировать применение правила ступенчатых переходов Оствальда, на схематической фазовой диаграмме (см. рис. 6.5) штриховой линией обозначен очень быстрый закалочный процесс. Газовая фаза с большой скоростью охлаждается до очень низких температур, как указано стрелками. Далее аморфное состояние может быть стабилизировано. Свойства этой аморфной фазы указывают, что она идентична замороженной жидкой фазе. Это значит, что на нашей простой фазовой диаграмме (см. рис. 6.5) величина внутренней энергии (без температурной зависимости) аморфной фазы эквивалентна такой же величине для жидкой фазы. Имеется ряд экспериментальных фактов, которые подтверждают эту аналогию: gf-.^j—,р—"1) электронограммы и рентгенов Рис. 6.5. Схематическое представление внутренней энергии £внут в зависимости от температуры: Лф_ аморфная фаза; Г — газ (пар); ЗГФ— закалка из газовой фазы; Ж —жидкость; РТФ — равновесная твердая фаза Температура
Карта
|
|
|
|
|
|
|
|
Страницы: 1 2 3... 182 183 184 185 186 187 188... 423 424 425
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу |
