Модифицирование и легирование поверхности лазерными, ионными и электронными пучками
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо
Если Вы являетесь автором данной книги и её распространение ущемляет Ваши авторские права или если Вы хотите внести изменения в данный документ или опубликовать новую книгу свяжитесь с нами по по .
Страницы: 1 2 3... 181 182 183 184 185 186 187... 423 424 425
|
|
|
|
^1000 A 0 Oo ( WOOA a Ш 1 Ш і T с П 0) Рис. 6 3. Схематическое представление ионных имплантаций (а) и облучения (б) инертными газами: ^ — пучок имплантированных ионов; Б — облучение инертным газом; Я — подложка; ГЯ— твердая пленка Рис. 6 4. Схема лазерной закалки: SIJK — быстро перекристаллизуемый слой; Ж — жидкость; ЛИ — лазерный импульс; Я — лодложки материалов а, Ь, с; ЯК — перекристаллизованньїй слой; ГЯ —твердая пленка туры. Это может быть объяснено в рамках различных моделей введения дефектов решетки, радиационно ускоренной диффузии или быстрой закалки локально разогретых областей каскадов столкновений. Скорость закалки в модели "термических пиков" может определяться температурой подложки, локальной энергией, обусловленной налетающими ионами так же, как и параметрами образца. Подробное обсуждение различных процессов проводится в гл. 7. 6.2.4. Лазерная закалка Принципиальная схема лазерной закалки показана на рис. 6.4. Тонкая пленка (^ 1000 А) необходимого материала напыляется на подложку, непоглощающую лазерное излучение. Температура подложки может варьировать в широких пределах (4 ...600 К). Тонкая пленка может быть расплавлена мощным лазерным импульсом. Температура самой подложки возрастает незначительно, поскольку лазерное излучение с ней не взаимодействует. Вскоре после окончания лазерного импульса расплавленный слой начинает затвердевать со стороны границы с более холодной подложкой, причем затвердевание протекает очень быстро со скоростями охлаждения ^ 10^ К/с. Скорость закалки зависит не только от внутрен 183
Карта
|
|
|
|
|
|
|
|
Страницы: 1 2 3... 181 182 183 184 185 186 187... 423 424 425
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу |
|
|
|
