Модифицирование и легирование поверхности лазерными, ионными и электронными пучками
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо
Если Вы являетесь автором данной книги и её распространение ущемляет Ваши авторские права или если Вы хотите внести изменения в данный документ или опубликовать новую книгу свяжитесь с нами по по .
Страницы: 1 2 3... 15 16 17 18 19 20 21... 423 424 425
|
|
|
|
дой фазе при печном отжиге и отжиге с применением лазера в непрерывном режиме работы. Эпитаксиальный рост, сегрегация и введение примесей в твердую фазу обсуждаются в гл. 5. До настоящего времени уделялось сравнительно мало внимания быстрому росту кристаллов в металлах. Ряд причин делает фундаментальные и прикладные исследования подобных явлений в кремнии более интересными. Например, кремний с ковалентным типом межатомных связей в отличие от чистых металлов может аморфизоваться. Более того, обнаружено, что в каждой фазе эпитаксиальный рост металлов, благодаря действию термических напряжений, приводит к образованию несовершенной кристаллической структуры, а это совершенно непохоже на перекристаллизацию кремния (см. гл. 11), Не приходится сомневаться, однако, что применимость к области быстрого кристаллического роста в полупроводниках и металлах является серьезной проверкой теории затвердевания. В частности, сегрегация и переохлаждение должны хорошо описываться в рамках любой плодотворной теории. Состояние теории обсуждается в гл. 3. 1.4. Метастабильные фазы Образование метастабильных фаз — одно из основных научных достижений при поверхностном легировании. Как импульсный нагрев, так и ионная имплантация являются весьма перспективными способами получения метастабильных структур. Легирование или фазообразование происходит в условиях, далеких от равновесных, и часто при высокой плотности дефектов. Возможности образования метастабильных фаз при ионной имплантации в металлы явилась предметом пристального изучения. Следует отметить, что сверхпроводимость является особенно ясным методом изучения электронных и структурных аспектов метастабильности. В гл, 6 дается обзор различных методов получения метастабильных сплавов, начиная от охлаждения разбрызгиванием и кончая обработкой ионными пучками; при этом особое внимание уделяется сверхпроводящим материалам. Ионное перемешивание —весьма интересный метод образования метастабильных сплавов. Напыленные пленки подвергаются интенсивному перемешиванию благодаря появлению радиационных дефектов строения и стимулированной ионным пучком подвижности атомов. На рис. 1,5 схематически изображено перемешивание в многослойной системе Ag—Си пучком ионов ксенона с энергией около 300 кэВ. Во время имплантации подложка поддерживалась при комнатной температуре и даже при температуре жидкого азота. Измерения параметра кристаллической решетки свидетельствуют о неограниченной растворимости материадад дри облучении. Системе Ag—Си в иетории маучемня ШШК^^Мв^ш^яи^ сплавов 17
Карта
|
|
|
|
|
|
|
|
Страницы: 1 2 3... 15 16 17 18 19 20 21... 423 424 425
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу |
