Модифицирование и легирование поверхности лазерными, ионными и электронными пучками
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо
Если Вы являетесь автором данной книги и её распространение ущемляет Ваши авторские права или если Вы хотите внести изменения в данный документ или опубликовать новую книгу свяжитесь с нами по по .
Страницы: 1 2 3... 169 170 171 172 173 174 175... 423 424 425
|
|
|
|
примесного атома, но максимум концентрации примеси, захватываемой вакантными узлами замещения, определяется в первую очередь процессами на границе раздела фаз, а не диффузией примесных атомов в аморфном и кристаллическом кремнии. Для объяснения снижения скорости перекристаллизации и явления "выталкивания" предложена модель, основанная на деформации границы раздела при твердофазном эпитаксиальном росте. Предполагается, что различие в диаметрах примесного атома и атома кремния вызывает деформацию связей и локальную деформацию на границе раздела аморфной и кристаллической областей^ при введении примесных атомов в позиции замещения исходной решетки. Следует ожидать увеличения интегральной деформации с возрастанием дозы легирования. Считается, что высокий уровень напряжений и деформации на межфазной границе раздела, во-первых, вызывает снижение скорости эпитаксиального роста, во-вторых, порождает движущую силу "выталкивания" примесных атомов в менее плотную аморфную область на движущейся границе раздела аморфной и кристаллической фаз. И, наконец, вследствие этого, он косвенно определяет предел максимальной растворимости в узлах замещения при твердофазном эпитаксиальном росте (неопубликованные данные Вильямса, Эллимана и Шорта). Следует полагать, что введение в решетку атомов с большим радиусом, чем радиус атомов кремния, приводит к появлению на границе раздела деформаций растяжения. Интегральное воздействие этих деформаций может оказаться направленным противоположно перекристаллизации, поскольку перекристаллизация вызывает уплотнение решетки на 6%. Можно сделать вывод, что уменьшение скорости эпитаксиального роста при больших концентрациях примеси должно коррелировать как с увеличением концентрации примеси, так и с размером примесных атомов. Данные по перекристаллизации кремния с ориентацией 100, имплантированного ионами теллура, индия, свинца и мышьяка [18, 19], согласуются со сделанными предположениями, хотя для получения более точных количественных соотношений по корреляции с интегральной деформацией необходимо дальнейшее исследование правдоподобия модели деформаций. В то же время Камписано и Бар-барино [19] отмечают, что скорость роста обычно замедляется, если концентрация приближается к пределу растворимости в твердой фазе, и предполагают, что процессы выделения могут играть существенную роль в процессах подавления скорости роста. Однако в отсутствие миграции примеси при температуре перекристаллизации (примеси с малой диффузионной подвижностью), этот процесс трудно обнаружить, несмотря на действие стимулированной напряжениями или другими процессами сегрегации, развивающейся в аморфном кремнии до кристаллизации. Что касается деформационной модели, Вилльямсу и Шорту удалось установить несомненную корреляцию между пределом метастабильной растворимости в твердой фазе, реализуемой при твер 171
Карта
|
|
|
|
|
|
|
|
Страницы: 1 2 3... 169 170 171 172 173 174 175... 423 424 425
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу |
