Модифицирование и легирование поверхности лазерными, ионными и электронными пучками
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо
Если Вы являетесь автором данной книги и её распространение ущемляет Ваши авторские права или если Вы хотите внести изменения в данный документ или опубликовать новую книгу свяжитесь с нами по по .
Страницы: 1 2 3... 161 162 163 164 165 166 167... 423 424 425
|
|
|
|
Кооперативные или множественные процессы разрыва и перестройки связей на границе раздела кристаллической и аморфной областей были рассмотрены в модели, предложенной Спаепеном [50]. Согласно этой модели свободная энергия границы раздела является минимальной, если на границе нет висящих связей, расстояние между ближайшими соседями постоянно, а искажение углов между атомными связями, дающее основной вклад в свободную энергию границы раздела, минимально. В работах [49, 51] изучена возможность влияния на рост кристаллов в рассматриваемой системе реконструкции решетки в результате разрыва одной единственной межатомной связи, расположенной вблизи границы раздела. Наличие такого рода движущегося дефекта может обеспечить реконструкцию большого количества атомных связей. На рис. 5.17 схематически изображен процесс роста ребра [110] на плоскости кремния (111) по предложенному механизму. Разрыва одной связи (например, DF) достаточно, чтобы вызвать перестройку пяти-и семиугольных ячеек, характерных для аморфной фазы, в правильные шестиугольные ячейки, образующие кристаллические плоскости (111) [49]. Как видно на рисунке, описанный процесс приводит к кристаллизации нескольких атомов и обеспечивает перекристаллизацию со скоростью, значительно превышающей рассчитанную на основе одиночных (не взаимосвязанных) разрывов связей. Предложенные Спаепеном [50] модели границы раздела и процесса роста Рис 5 17. Последовательные стадии (а—з) формирования кри сталлической структуры в аморф ном кремнии с тетраэдрическийл расположением атомов. Развитие кристаллической структуры происходит посредством роста ребра [110] вдоль плоскости (111). Верхняя часть каждого рисунка изображает кристаллическую фазу, а нижняя — аморфную. На приведенных схемах видно, как разрыв связи DF вызывает перестройку ряда атомных связей с образованием кристаллической фазы [42] 163
Карта
|
|
|
|
|
|
|
|
Страницы: 1 2 3... 161 162 163 164 165 166 167... 423 424 425
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу |
