Модифицирование и легирование поверхности лазерными, ионными и электронными пучками
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо
Если Вы являетесь автором данной книги и её распространение ущемляет Ваши авторские права или если Вы хотите внести изменения в данный документ или опубликовать новую книгу свяжитесь с нами по по .
Страницы: 1 2 3... 158 159 160 161 162 163 164... 423 424 425
|
|
|
|
Ъ'"^ Ю'^ 10'^ W'^ W'^ tO' б) Рис. 5,15: а —Д0v•їя атомов висмута в позициях замещения в зависимости от температуры Т при ЗО-минутном ступенчатом отжиге. Кремний с ориентацией 100 облучался ионами висмута с энергией 120 кэВ при дозе легирования; і — 5•10^з см-^; 2 — Ь2'10'^ ст^-^; 3 — 2,6Х XW'^^^б-Ю'"* см-^; 5—1,8-101^ см-^ [20]; б — фазовая диаграмма системы висмут — кремний, показывающая область равновесного твердого раствора а и метастабильной фазы а', возникающей после 30-минутного отжига (данные взяты из рис. 5.15. с). Твердофазный эпитаксиальный, рост происходил прк температуре ббО^С (по сообщению С, Камписано) смотренные особенности поведения ягтлядуіо иллюстрируются фазовой диаграммой, приведенной на рис. 5.15, б. На рисунке показаны а-область равновесного твердого раствора, получаемая при бесконечном времени отжига, и область существования метастабильной а'-фазы, получаемой при 30-минутном отжиге {21]. Изучение метастабильной системы сурьма — кремний [30, 31, 34, 48] позволило установить, что дозовая зависимость имеет вид, аналогичный зависимости для системы висмут — кремний. Был также обнаружен ряд интересных микроструктурных эффектов, связанных с образованием выделений второй фазы и обсуждав-шихся при анализе рис, 5.11. Процесс образования выделений хорошо коррелирует с изменением количества атомов сурьмы в положеннях замещения и с электрической активностью примеси. Исследования каналирования и измерения электросопротивления подтверждают сделанные выводы [30, 48]. Зависимость между количеством атомов сурьмы в положениях замещения и электрической активностью примеси иллюстрируется данными рис, 5.16. Как следует из рис. 5.16, б, 30-мйнутный изохронный отжиг при температурах до ЮООХ уменьшает число замещающих атомов, если доза ионов легирования более чем ЫО^^ см"^. Такая доза легирования соответствует концентраций примеси 2,6-10-'^ см"^, что в 3 раза превосходит максимальное равновесное значение (см. гл. 4 [28]). Как показано на рис. 5.16, а, электрическая активность сурьмы коррелирует с концентрацией атомов замещения во всех случаях, кроме исследований при низкой температуре (^ТОО^'С) и дозе ионов легирования 5-10^^ см-^. 160
Карта
|
|
|
|
|
|
|
|
Страницы: 1 2 3... 158 159 160 161 162 163 164... 423 424 425
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу |
