Модифицирование и легирование поверхности лазерными, ионными и электронными пучками
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо
Если Вы являетесь автором данной книги и её распространение ущемляет Ваши авторские права или если Вы хотите внести изменения в данный документ или опубликовать новую книгу свяжитесь с нами по по .
Страницы: 1 2 3... 157 158 159 160 161 162 163... 423 424 425
|
|
|
|
Пересыщенные твердые растворы могут также образовываться 3 твердой фазе при неравновесном отжиге с температурой, существенно превосходящей бОО^С. Например, метастабильные концентрации мышьяка в кристалле кремния с ориентацией 100 наблюдались после обработки сканирующим лазером в непрерывном режиме и электронным пучком. При этом происходил за время в несколько миллисекунд нагрев образца до температуры более дОО°С [45, 46]. Отжиг продолжительностью в несколько секунд, реализуемый с применением ленточных нагревателей [47] и некогерентных источников света [И], также может приводить к образованию растворов замещения с концентрацией, превышающей равновесную. Такие растворы были обнаружены при имплантации в кремний с ориентацией 100 мышьяка, фосфора и сурьмы. Однако максимальные примесные концентрации, достижимые при неравновесном отжиге с более высокой температурой, оказываются ниже, чем достижимые при низкотемпературном печном отжиге [30]. Можно утверждать, что именно процесс "выталкивания" (как показано на рис. ЗЛО) определяет максимальную растворимость в твердой фазе, достигаемую при неравновесном отжиге. Хотя процессы образования пересыщенных растворов при эпитаксиальном росте из жидкой и твердой фаз существенно различаются, можно отметить интересный факт близости максимальных значений растворимости, достижимых при росте из жидкой и твердой фаз. Подобные сравнения представлены в гл. 4. В п. 5.3.3 рассмотрим возможные аналогии между различными процессами образования пересыщенных растворов. Стабильность растворов. Получив пересыщенный твердый раствор в результате печного или неравновесного твердофазного отжига, интересно исследовать его стабильность при последующей термообработке. На рис. 5.15 приведены результаты исследований стабильности системы висмут — кремний [21, 22]. На рис. 5.15, а показано поведение имплантированных до достижения различных концентраций атомов замещения висмута при изохронном отжиге. При всех изученных концентрациях твердофазный эпитаксиальный рост при 550''С вызывал образование пересыщенного твердого раствора висмута. Как видно на рисунке, существует хорошо выраженная зависимость, следствием которой является уменьшение концентрации замещающих атомов при увеличений дозы легирования и низкотемпературном отжиге. Исходя из приведенных данных, следует ожидать, что метастабильная фаза висмута будет выделяться в виде включений, если средняя диффузионная длина примеси при температуре отжига превосходит среднее расстояние между примесными атомами (22, 23]. Интересно отметить, что предельная концентрация атомов замещения висмута существенно превосходит уровень 2-10^9 см-^, получаемый при отжиге с температурой 925Х, Максимальная растворимость в равновесных условиях равна 8-10^^ см-^ (см. гл. 4, [28]). Рас 159
Карта
|
|
|
|
|
|
|
|
Страницы: 1 2 3... 157 158 159 160 161 162 163... 423 424 425
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу |
