Модифицирование и легирование поверхности лазерными, ионными и электронными пучками
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо
Если Вы являетесь автором данной книги и её распространение ущемляет Ваши авторские права или если Вы хотите внести изменения в данный документ или опубликовать новую книгу свяжитесь с нами по по .
Страницы: 1 2 3... 152 153 154 155 156 157 158... 423 424 425
|
|
|
|
Рис. 5.11: с — темнопольная микрофотография (440), полученная в просвечивающем электронном микроскопе. Показаны начальные стадии образования выделений и дислокационных петель " результате Отжига при 850°С в течение 30 мин. Образец ~ пластина кремния (100). облученная ионами сурьмы до дозы 3-10'= см-^; б ~ темнопольная микрофотография, полученная в просвечивающем микроскопе и соответствующая дифракционная картина татов или генерации сколько-нибудь значительного количества протяженных дефектов. Концентрационная зависимость эффекта обусловлена наличием равновесного предела растворимости и более подробно будет рассмотрена ниже. Вторая ситуация, которую следует проанализировать, связана с образованием в поверхностном слое большого количества протяженных дефектов. В этом случае дефекты могут играть роль центров зарождения примесных выделений и (или) создавать пути быстрой диффузии примесных атомов по всему перекристаллизованному слою. Рис. 5.12 иллюстрирует перераспределение свинца в кремнии с ориентацией 111 по описанному механизму. Концентрационные профили свинца не изменились в ходе сорокаминутного отжига при температуре 565°С, который проводился 154
Карта
|
|
|
|
|
|
|
|
Страницы: 1 2 3... 152 153 154 155 156 157 158... 423 424 425
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу |
|
|
|
