Модифицирование и легирование поверхности лазерными, ионными и электронными пучками
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо
Если Вы являетесь автором данной книги и её распространение ущемляет Ваши авторские права или если Вы хотите внести изменения в данный документ или опубликовать новую книгу свяжитесь с нами по по .
Страницы: 1 2 3... 12 13 14 15 16 17 18... 423 424 425
|
|
|
|
100 150 208 О а) 50 ЮО %нс Рис. 1.2, Температурные (7) зависимости коэффициентов поглощения k рубинового (Я=0,69 мкм) (/, S) и неодимового (Л=1,06 мкм) (2, 4) лазеров. Зависимости для аморфного кремния показаны кривыми І, 2, а для кристалляческо-го —4\ ЖіС — жидкий (металлический) кремний; Г/С —кремний в твердом состоянии Рис. 1.3, Перемещение фронта плавления и затвердевания в кремнии (а) и алю^ МИНИН (б) при облучении импульсным рубиновым лазером с плотностью энергии / и при скорости охлаждения v симумы выделяющейся энергии и температуры могут располагаться на некотором расстоянии от поверхности. Важным выводом яв^ ляется также независимость выделяющейся при бомбардировке заряженными частицами энергии от физического состояния мишени.. Характерным значением плотности энергии, необходимой дЛ5Г нагрева и оплавления поверхностного слоя толщиной 1 мкм, является несколько джоулей на 1 см^. Притягательной чертой лучевой обработки является возможность применять импульсные пучки. Для лазеров длительность импульса т достигает всего лишь несколько пикосекунд, а для пучков частиц — несколько наносекунд. Выделяющаяся мощность может оказаться огромной. Например,, выделение энергии 1 Дж на 1 см^ за 10 не соответствует удельной^ мощности 100 МВт/см^. Как показано на рис. 1.3, при облучении монокристаллов кремния и алюминия импульсом рубинового лазера, скорости нагрева и охлаждения могут быть весьма высокими (подробнее см. в гл. 2 и 11), Чтобы штлято выявить различия между поведением металлов и полупроводников, приведенные зависимости пол'^чены при одинаковой глубине оплавленного слоя h. Фронт плавления распространяется примерно с одинаковой скоростью v. Однако различие в коэффициенте теплопроводности приводит к тому, что скорость затвердевания алюминия примерно на порядок выше, чем кремния^ 14
Карта
|
|
|
|
|
|
|
|
Страницы: 1 2 3... 12 13 14 15 16 17 18... 423 424 425
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу |
