Модифицирование и легирование поверхности лазерными, ионными и электронными пучками
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо
Если Вы являетесь автором данной книги и её распространение ущемляет Ваши авторские права или если Вы хотите внести изменения в данный документ или опубликовать новую книгу свяжитесь с нами по по .
Страницы: 1 2 3... 11 12 13 14 15 16 17... 423 424 425
|
|
|
|
вания показали, что ионная имплантация увеличивает коррозионную стойкость подшипников, не приводя к деградации механических характеристик. Они свидетельствуют также о возможности создания технологической линии для осуидествления ионной имплантации подшипников. Важным преимуществом рассмотренного технологического процесса является сохранение макроскопических размеров прецизионных подшипников. Ионная имплантация может использоваться в качестве финишной операции обработки и входить, таким образом, в состав существующих технологических линий. Следует также отметить, что стоимость имплантации подшипников составляет лишь малую часть общих затрат на их производство. В гл. 12 рассмотрены другие прикладные аспекты ионной имплантации. 1.2. Поверхностный нагрев Лазерные, электронные и даже ионные пучки могут обеспечить столь быстрый нагрев поверхностных слоев, что объемная температура практически не изменяется. В гл. 2 рассмотрены различные механизмы взаимодействия высокоэнергетических частиц с твердым телом. Основные особенности взаимодействия лазерного излучения иллюстрируются приведенными на рис. 1.2 температурными зависимостями коэффициентов поглощения кремнием излучения рубинового (длина волны Х—0,69 мкм) и неодимового (к= = 1,06 мкм) лазеров. Для твердого кремния характерен широкий диапазон изменения коэффициента поглощения, зависящего от зонной структуры материала. Однако при плавлении различия пропадают и коэффициент поглощения становится равным 4-10^ см-^ [т. е. глубина поглощения Л=250 А*]. Причиной такого изменения коэффициента поглощения является металлический характер расплавленного кремния. Указанное значение коэффициента погло-тдения попадает в диапазон 4-10^..10^ см"^, типичный для большинства металлов. Поглощение лазерного света сильно зависит от физического состояния полупроводников и относительно слабо — от состояния металлов. Вместе с тем полная поглощенная энергия зависит от отражательной способности мишени, которая у металлов выше, чем у полупроводников. Несмотря на то что чаще всего для нагрева поверхностей используются лазеры, электронные и ионные пучки также находят тірименение. Пучки частиц обеспечивают более эффективное выделение энергии, что является следствием фундаментальных физических процессов их рассеяния и механизмов потери энергии пучков. Для большинства частиц энергией до ^ 100 кэВ тепловой источник, т. е. область выделения энергии, имеет протяженность около нескольких микрометров, в отличие от лазерного воздействия, мак * В книге сохранена внесистемная единица Ангстрем; 1 А = 0,1 нм — Лрим. ред. 13
Карта
|
|
|
|
|
|
|
|
Страницы: 1 2 3... 11 12 13 14 15 16 17... 423 424 425
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу |
