Модифицирование и легирование поверхности лазерными, ионными и электронными пучками
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо
Если Вы являетесь автором данной книги и её распространение ущемляет Ваши авторские права или если Вы хотите внести изменения в данный документ или опубликовать новую книгу свяжитесь с нами по по .
Страницы: 1 2 3... 129 130 131 132 133 134 135... 423 424 425
|
|
|
|
ев. Мерой соответствия экспериментальных данных и результатов модельных расчетов может служить і/?-фактор (чем он ниже, тем лучше соответствие). Детальный анализ ДМЭ для отожженных лазером поверхностей (111)-(1X1) кремния и германия был выполнен в работе [20], результаты из которой, относяш,иеся к кремнию, обсуждаются ниже. В указанной работе использовали поверхность кремния (111), облученную лазером с плотностью энергии на выходе ^2 Дж/см^. Интенсивности дифрагированных электронных пучков определялись в зависимости от энергии электронов с использованием цилиндра Фарадея, работавшего как анализатор замедляющего поля. Данные получались для всех пучков с ориентацией {Ю}, {01}, {20} и {02} и для трех из каждых пучков с ориентацией {11} и {21}, На основе этих наблюдений и результатов предыдущих работ симметрично эквивалентные пучки усреднялись с той целью, чтобы получить набор данных, содержащий шесть усредненных профилей. Экспериментальные данные сравнивались с расчетными результатами для полностью преобразованной динамической ДМЭ. Де (02) Пучок -J. ^VAJ г \ - Оуцої^ [21) л А R-Q.osa / \ / \ -Aw . 1— I J V-/ QO 120 160 Рис. 4.31. Сравнение усредненных экспериментальных профилей I—VI (1) с расчетными данными {2) для Дс/і2 = —25,5%; Аі/2з=3,2%; Єіз=550 К; Uoi^A.b эВ 5* 131
Карта
|
|
|
|
|
|
|
|
Страницы: 1 2 3... 129 130 131 132 133 134 135... 423 424 425
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу |
